[实用新型]一种新型PECVD石墨舟

权利要求书

1.一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片(100)、多个快拆杆(200)，所述石墨舟片(100)上开设有若干开孔，不同所述石墨舟片(100)上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道(101)；所述快拆杆(200)包括有陶瓷管(201)、连接杆(207)、第一压片(202)、第二压片(203)、锁紧扳块(204)，所述陶瓷管(201)穿设于所述穿设通道(101)内，所述陶瓷管(201)的长度等于或长于所述穿设通道(101)的长度，所述陶瓷管(201)内设有通孔(220)，所述通孔(220)沿所述陶瓷管(201)的轴向设置、贯穿所述陶瓷管(201)的端部；所述连接杆(207)穿插于所述通孔(220)内，所述连接杆(207)的一端连接第一压片(202)，所述连接杆(207)的另一端伸出所述通孔(220)外、贯穿所述第二压片(203)；所述第一压片(202)、所述第二压片(203)的面积均大于所述穿设通道(101)的端口面积；所述锁紧扳块(204)设于所述第二压片(203)远离所述陶瓷管(201)的一侧，所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)的端部铰接；所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)铰接的一端设有锁紧部(205)、解锁部(206)，所述锁紧部(205)的侧面与铰接点的最长直线距离大于所述解锁部(206)的侧面与铰接点的最长直线距离。

2.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一压板及所述第二压板上均设有凹槽(208)，所述连接杆(207)的端部设于所述凹槽(208)内。

3.如权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述凹槽(208)内设有弹性件(209)，所述弹性件(209)正对于所述连接杆(207)的端面侧壁。

4.如权利要求3所述的石墨舟，其特征在于，所述第一压片(202)与所述连接杆(207)的端部之间通过第一弹簧(210)连接，所述第一弹簧(210)设于所述凹槽(208)内。

5.如权利要求3所述的石墨舟，其特征在于，所述第二压片(203)与所述锁紧扳块(204)之间设有隔板(230)，所述隔板(230)与所述第二压片(203)之间设有第二弹簧(240)，所述连接杆(207)的端部穿过所述隔板(230)、与所述锁紧扳块(204)铰接。

6.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述锁紧部(205)及所述解锁部(206)的表面均为平面，所述解锁部(206)与周围的部位之间弧形过渡，所述锁紧部(205)位与周围的部位之间弧形过渡。

7.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，相邻所述石墨舟片(100)之间设有陶瓷环(300)，所述陶瓷环(300)套设于所述连接杆(207)上。