[实用新型]一种新型PECVD石墨舟有效
申请号: | 201721485576.7 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN207367943U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 叶荣文;褚玉宝;沈欢;肖仲;刘俊 | 申请(专利权)人: | 中赣新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 南昌赣专知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 文珊;张文宣 |
地址: | 335200 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 pecvd 石墨 | ||
本实用新型公开一种新型PECVD石墨舟,包括有多个石墨舟片、多个快拆杆,石墨舟片上开设有若干开孔,不同石墨舟片上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道;快拆杆包括有陶瓷管、连接杆、第一压片、第二压片、锁紧扳块,陶瓷管穿设于穿设通道内,连接杆穿插在陶瓷管的通孔内,连接杆的一端连接第一压片,连接杆的另一端贯穿第二压片后与锁紧扳块铰接,锁紧扳块设有锁紧部、解锁部,锁紧部的侧面与铰接点的最长直线距离大于解锁部的侧面与铰接点的最长直线距离。与现有技术相比,本实用新型简化石墨舟片之间的拆装过程,节省时间。
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片生产设备领域,尤其涉及一种新型PECVD石墨舟。
背景技术
石墨舟由多片石墨舟片构成,目前石墨舟片之间通过端部带有螺纹的陶瓷棒连接,并在陶瓷棒的端部加上螺母进行固定。在安装与拆卸时,均要采用工具把陶瓷棒两端的螺母拧下来,过程繁琐,浪费较多时间。本实用新型的目地是简化石墨舟片之间的拆装过程,节省时间。
实用新型内容
本实用新型为解决现有的技术缺陷,提供了一种新型PECVD石墨舟,其能能简化石墨舟片之间的连接过程,节省时间。其具体的技术方案如下:
本实用新型公开一种新型PECVD石墨舟,包括有多个石墨舟片、多个快拆杆,石墨舟片上开设有若干开孔,不同石墨舟片上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道;快拆杆包括有陶瓷管、连接杆、第一压片、第二压片、锁紧扳块,陶瓷管穿设于穿设通道内,陶瓷管的长度等于或长于穿设通道的长度,陶瓷管内设有通孔,通孔沿陶瓷管的轴向设置、贯穿陶瓷管的端部;连接杆穿插于通孔内,连接杆的一端连接第一压片,连接杆的另一端伸出通孔外、贯穿第二压片;第一压片、第二压片的面积均大于穿设通道的端口面积;锁紧扳块设于第二压片远离陶瓷管的一侧,锁紧扳块与连接杆的端部铰接;锁紧扳块与连接杆铰接的一端设有锁紧部、解锁部,锁紧部的侧面与铰接点的最长直线距离大于解锁部的侧面与铰接点的最长直线距离。
进一步地,第一压板及第二压板上均设有凹槽,连接杆的端部设于凹槽内。
进一步地,凹槽内设有弹性件,弹性件正对于连接杆的端面侧壁。
进一步地,第一压片与连接杆的端部之间通过第一弹簧连接,第一弹簧设于凹槽内。
进一步地,第二压片与锁紧扳块之间设有隔板,隔板与第二压片之间设有第二弹簧,连接杆的端部穿过隔板、与锁紧扳块铰接。
进一步地,锁紧部及解锁部的表面均为平面,解锁部与周围的部位之间弧形过渡,锁紧部位与周围的部位之间弧形过渡。
进一步地,相邻石墨舟片之间设有陶瓷环,陶瓷环套设于连接杆上。
本实用新型的有益效果:本实用新型用快拆杆代替了端部带螺纹的陶瓷棒,简化石墨舟片之间的拆装过程,节省时间。
附图说明
图1为本实用新型实施例的石墨舟片侧面结构示意图;
图2为本实用新型实施例的石墨舟片剖面结构示意图;
图3为本实用新型实施例没有隔板的快拆杆的结构示意图;
图4为本实用新型实施例有隔板的快拆杆的结构示意图。
图中标注:石墨舟片100,穿设通道101,快拆杆200,陶瓷管201,第一压片202,第二压片203,锁紧扳块204,锁紧部205,解锁部206,连接杆207,凹槽208,弹性件209,第一弹簧210,通孔220,隔板230,第二弹簧240,陶瓷环300。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造