[实用新型]一种高效有机蒸发坩埚清洗系统

权利要求书

1.一种高效有机蒸发坩埚清洗系统，包括清洗机架(1)和设置在所述清洗机架(1)上的清洗装置(2)和控制装置(3)，其特征在于，所述系统中还设有与所述清洗机架(1)连接的清洗液槽(4)和清洗仓(5)，所述清洗仓(5)的上端设有与其内腔相连通的进液管(6)、出液管(7)和旋转轴孔(8)，其下端开口；所述清洗装置(2)包括旋转机构(21)和刷头(22)，所述旋转机构(21)贯穿所述旋转轴孔(8)，且与位于所述清洗仓(5)内的所述刷头(22)可拆卸连接；所述清洗液槽(4)中设有进液腔(41)和出液腔(42)，所述进液管(6)和出液管(7)分别通过一输送泵(9)与所述出液腔(42)和进液腔(41)对应连通，所述控制装置(3)分别与所述的输送泵(9)和旋转机构(21)电性连接；需清洗的坩埚(10)一端由所述清洗仓(5)的开口推入所述清洗仓(5)中，所述进液管(6)和刷头(22)伸入坩埚(10)中执行旋转刷洗。

2.根据权利要求1所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述清洗机架(1)上设有多个所述的清洗装置(2)和清洗仓(5)，每个所述清洗仓(5)的进液管(6)上分别设有一进液控制阀(20)，各进液控制阀(20)分别与一进液主管(40)连通，每一所述清洗仓(5)的出液管(7)上分别设有一出液控制阀(30)，各出液控制阀(30)分别与一出液主管(50)连通，所述进液主管(40)和出液主管(50)分别与所述的输送泵(9)连接。

3.根据权利要求2所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述进液控制阀(20)和出液控制阀(30)均为电磁阀，其分别与所述控制装置(3)电性连接，所述控制装置(3)独立控制各所述清洗仓(5)上进液控制阀(20)和出液控制阀(30)的启闭。

4.根据权利要求2所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，每一所述清洗仓(5)上设有一加热装置(60)，其包括温度探测器和缠绕加热线圈(601)，所述温度探测器设置在所述清洗仓(5)的出液口位置，所述缠绕加热线圈(601)设置于所述清洗仓(5)的外侧面，所述控制装置(3)分别与各所述清洗仓(5)上的加热装置(60)电性连接，用于独立控制各所述清洗仓(5)的加热。

5.根据权利要求1-4任一所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述旋转机构(21)包括旋转轴(211)、设置在所述旋转轴(211)一端的驱动电机(212)和套置于所述清洗仓(5)与驱动电机(212)之间所述旋转轴(211)上的超声波发生器(213)，所述驱动电机(212)与所述控制装置(3)电性连接。

6.根据权利要求5所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述清洗仓(5)呈竖直设置，其下端的开口处设有与坩埚(10)螺纹连接的密封结构。

7.根据权利要求6所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述刷头(22)包括的刷体部分(221)和刷头部分(222)，所述刷体部分(221)与所述旋转轴(211)的下端可拆卸连接，所述刷头部分(222)为高强度聚酰胺纤维，其固定于所述刷体部分(221)的下端。

8.根据权利要求1所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述清洗液槽(4)中的所述进液腔(41)与所述出液腔(42)之间设有过滤器(43)，所述进液腔(41)中的清洗液经所述过滤器(43)过滤后进入所述出液腔(42)中。

9.根据权利要求1所述的高效有机蒸发坩埚清洗系统，其特征在于，所述系统中设有多个所述清洗液槽，所述清洗液槽通过管路与所述清洗仓一一对应连接。