[实用新型]一种高效有机蒸发坩埚清洗系统

说明书

本实用新型公开了一种高效有机蒸发坩埚清洗系统，包括清洗机架和设置在清洗机架上的清洗装置和控制装置，系统中还设有与清洗机架连接的清洗液槽和清洗仓，清洗仓的上端设有与其内腔相连通的进液管、出液管和旋转轴孔，其下端开口；清洗装置包括旋转机构和刷头，旋转机构贯穿所述旋转轴孔，且与位于清洗仓内的所述刷头可拆卸连接；所述清洗液槽中设有进液腔和出液腔，进液管和出液管分别通过一输送泵与出液腔和进液腔对应连通，控制装置分别与输送泵和旋转机构电性连接；需清洗的坩埚一端由清洗仓的开口推入清洗仓中，进液管和刷头伸入坩埚中执行旋转刷洗。本实用新型的清洗装置中的刷头与旋转机构可拆卸连接，可根据坩埚的形状更换对应的刷头形状，实现不同种类坩埚的独立、可控的定制化清洗。

技术领域

本实用新型涉及OLED配套设备技术领域，具体涉及一种高效有机蒸发坩埚清洗系统。

背景技术

有机电致发光(OLED)技术的研究起源于20世纪60年代，随着1987年邓青云博士在美国柯达公司展现了OLED器件的实用前景，OLED技术不断开拓探索，广泛应用于显示和照明等实用领域，已形成了完备的量产体系。

其中，真空蒸镀设备作为OLED技术应用的核心，完美的改变了OLED材料的器件制备工艺，大幅提高了OLED器件制备的精度和使用时间，提高了量产的效率和良品率，是目前使用最为广泛的OLED生产工具。

而在真空蒸镀设备中，蒸发源中的配套坩埚作为OLED材料在蒸镀设备中的载体，不但承担着装载材料的作用，同时也影响着材料的加热和蒸发，因此，真空蒸镀设备对坩埚洁净度有着严苛的要求。

在OLED蒸镀设备中，用于承载有机蒸发材料的坩埚需要定期清洗和更换，坩埚清洗后的洁净度对坩埚的重复使用有很大的影响；现在常见的清洗工艺是将坩埚浸泡在有机溶剂中进行超声清洗，然后手动用刷子刷拭，再用纯水冲洗，最后烘干。整个过程不但需要消耗大量的人力，而且清洗的洁净程度也无法保证，同时清洗后的坩埚需要使用其他的容器才能够转移到干燥箱中，增加了污染的可能性。

传统的干锅清洗方式包含溶剂浸泡、超声清洗、溶剂去除和洁净干燥等步骤。但由于坩埚的清洗要求针对坩埚的形状、坩埚内材料的种类、坩埚的材质等采用不同类型的清洗方式，因此，目前尚无一款产品能够适用于多类型和多清洗类型的坩埚清洗机，从而提供高效、快捷和自动化的清洁，提高清洁品质，减少人力的使用。

实用新型内容

针对现有技术中的以上不足，本实用新型提供一种可适用于多种类型清洗方式的高效有机蒸发坩埚清洗系统，能够实现不同种类坩埚的独立、可控的定制化清洗，减少溶剂使用量和对环境的污染。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种高效有机蒸发坩埚清洗系统，包括清洗机架和设置在所述清洗机架上的清洗装置和控制装置，所述系统中还设有与所述清洗机架连接的清洗液槽和清洗仓，所述清洗仓的上端设有与其内腔相连通的进液管、出液管和旋转轴孔，其下端开口；所述清洗装置包括旋转机构和刷头，所述旋转机构贯穿所述旋转轴孔，且与位于所述清洗仓内的所述刷头可拆卸连接；所述清洗液槽中设有进液腔和出液腔，所述进液管和出液管分别通过一输送泵与所述出液腔和进液腔对应连通，所述控制装置分别与所述的输送泵和旋转机构电性连接；需清洗的坩埚一端由所述清洗仓的开口推入所述清洗仓中，所述进液管和刷头伸入坩埚中执行旋转刷洗。

所述清洗机架上设有多个所述的清洗装置和清洗仓，每个所述清洗仓的进液管上分别设有一进液控制阀，各进液控制阀分别与一进液主管连通，每一所述清洗仓的出液管上分别设有一出液控制阀，各出液控制阀分别与一出液主管连通，所述进液主管和出液主管分别与所述的输送泵连接。

所述进液控制阀和出液控制阀均为电磁阀，其分别与所述控制装置电性连接，所述控制装置独立控制各所述清洗仓上进液控制阀和出液控制阀的启闭。