[实用新型]一种硅片石墨舟用冷却机构

权利要求书

1.一种硅片石墨舟用冷却机构，包括机房(1)和工作台(2)，其特征在于：所述机房(1)的底部固定安装有方形的工作台(2)，所述工作台(2)的上表面设有吹风扇(3)，该工作台(2)的上方设有吸气罩(4)，该吸气罩(4)的上表面中部焊接安装有圆形的输气管(5)，所述输气管(5)的内部固定安装有螺旋状的散热板(6)，该输气管(5)的端部对称连通设置有第一导气管(7)，所述机房(1)的内部固定安装有支撑板(8)，该支撑板(8)的一端焊接安装在输气管(5)的表面，所述支撑板(8)的上方固定安装有水箱(9)，所述第一导气管(7)的一端插设在水箱(9)的内部，且水箱(9)的上表面安装有第二导气管(10)，所述机房(1)的内腔上表面固定安装有电机箱(11)，且机房(1)的内腔焊接安装有圆形的转板槽(12)，该电机箱(11)的内部设有电机(15)，该电机(15)的中部设置有中心轴，该中心轴的端部固定安装有转动板(13)，且转动板(13)设置在转板槽(12)的内部，所述第二导气管(10)与转板槽(12)相连通设置，该转板槽(12)的表面接通设有圆形的出气管(14)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述机房(1)为方形的腔体结构，该机房(1)内腔的长度与工作台(2)的长度相同，所述吹风扇(3)共有两个，且等间距设置在工作台(2)的表面。

3.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述散热板(6)的直径与输气管(5)的直径相同，所述支撑板(8)共有2块，且对称设置在机房(1)的内部，所述水箱(9)的长度至少为支撑板(8)长度的1/2，且水箱(9)的高度至多为输气管(5)高度的1/2。

4.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述第一导气管(7)与第二导气管(10)均为“L”形的管状结构，且第一导气管(7)的直径与第二导气管(10)的直径相同。

5.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述出气管(14)的直径与转板槽(12)的高度相同，该转板槽(12)的直径大于转动板(13)的长度，所述转动板(13)的数量共有6个，且等间距环形分布在中心轴的表面。