[实用新型]干式蚀刻机

权利要求书

1.一种干式蚀刻机，其特征在于，包括：

电机；

固定在所述电机的输出轴上的联轴器；

固定连接所述联轴器的传动轴；

固定在所述传动轴上的可变电容；和

传感器，所述传感器位于所述可变电容及所述联轴器之间，所述传感器用于在所述电机工作时检测所述传动轴是否转动，并在所述传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。

2.如权利要求1所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述联轴器包括：

与所述输出轴固定连接的第一联轴件；

与所述第一联轴件同轴设置的第二联轴件，所述第二联轴件固定连接所述传动轴；和

连接所述第一联轴件及所述第二联轴件的弹性件，所述弹性件可沿所述输出轴的轴向产生弹性变形。

3.如权利要求2所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述弹性件包括弹簧。

4.如权利要求2所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述可变电容包括：

靠近所述联轴器的第一电极板，所述第一电极板与所述传动轴固定连接；和

与所述第一电极板相对的第二电极板，所述第二电极板位于所述第一电极板背向所述联轴器的一侧，所述第一电极板在所述弹性件沿所述输出轴的轴向产生弹性变形时相对所述第二电极板移动。

5.如权利要求4所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述干式蚀刻机包括套设在所述传动轴上的调节元件，所述调节元件用于调节所述第一电极板与所述第二电极板之间的预定距离。

6.如权利要求5所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述调节元件形成有内螺纹，所述传动轴形成有与所述内螺纹配合连接的外螺纹，所述调节元件通过所述内螺纹与所述外螺纹配合以调节所述预定距离。

7.如权利要求1所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述传感器包括：

固定部；

位于所述固定部内且可相对于所述固定部转动的活动部，所述活动部固定在所述传动轴上，所述固定部用于在所述活动部停止转动时输出所述联轴器断裂信号。

8.如权利要求7所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述固定部包括光源、透镜、光栏板及光电元件，所述活动部包括光电码盘，所述光电码盘固定在所述传动轴上，所述透镜、所述光栏板、所述光电码盘和所述光电元件沿所述光源的出光光路依次设置。

9.如权利要求1所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述干式蚀刻机包括与所述传感器连接的报警器，所述报警器用于根据所述联轴器断裂信号报警。

10.如权利要求1所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述干式蚀刻机包括线圈，所述线圈连接所述可变电容，所述线圈随着所述可变电容的电容值变化产生可变电场。