[实用新型]干式蚀刻机

说明书

本实用新型公开了一种干式蚀刻机。干式蚀刻机包括电机、固定在电机的输出轴上的联轴器、固定在传动轴上的可变电容和传感器。传感器位于可变电容及联轴器之间，传感器用于在电机工作时检测传动轴是否转动，并在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。本实用新型的干式蚀刻机中，当联轴器出现断裂等故障时，联轴器无法传递扭矩，从而无法带动传动轴转动，传感器在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号，如此，这样可以提醒用户及时更换联轴器以使得干式蚀刻机能正常运行。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻技术领域，尤其涉及一种干式蚀刻机。

背景技术

在相关技术中，干式蚀刻机内的电机与可变电容之间连接的联轴器容易出现老化断裂等故障，导致联轴器无法传递扭矩，从而导致干式蚀刻机无法正常运行。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提供一种干式蚀刻机。

本实用新型实施方式的干式蚀刻机包括：

电机；

固定在所述电机的输出轴上的联轴器；

固定连接所述联轴器的传动轴；

固定在所述传动轴上的可变电容；和

传感器，所述传感器位于所述可变电容及所述联轴器之间，所述传感器用于在所述电机工作时检测所述传动轴是否转动，并在所述传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。

本实用新型的干式蚀刻机中，当联轴器出现断裂等故障时，联轴器无法传递扭矩，从而无法带动传动轴转动，传感器在电机工作且传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号，如此，这样可以提醒用户及时更换联轴器以使得干式蚀刻机能正常运行。

在某些实施方式中，所述联轴器包括：

与所述输出轴固定连接的第一联轴件；

与所述第一联轴件同轴设置的第二联轴件，所述第二联轴件固定连接所述传动轴；和

连接所述第一联轴件及所述第二联轴件的弹性件，所述弹性件可沿所述输出轴的轴向产生弹性变形。

在某些实施方式中，所述弹性件包括弹簧。

在某些实施方式中，所述可变电容包括：

靠近所述联轴器的第一电极板，所述第一电极板与所述传动轴固定连接；和

与所述第一电极板相对的第二电极板，所述第二电极板位于所述第一电极板背向所述联轴器的一侧，所述第一电极板在所述弹性件沿所述输出轴的轴向产生弹性变形时相对所述第二电极板移动。

在某些实施方式中，所述干式蚀刻机包括套设在所述传动轴上的调节元件，所述调节元件用于调节所述第一电极板与所述第二电极板之间的预定距离。

在某些实施方式中，所述调节元件形成有内螺纹，所述传动轴形成有与所述内螺纹配合连接的外螺纹，所述调节元件通过所述内螺纹与所述外螺纹配合以调节所述预定距离。

在某些实施方式中，所述传感器包括：

固定部；

位于所述固定部内且可相对于所述固定部转动的活动部，所述活动部固定在所述传动轴上，所述固定部用于在所述活动部停止转动时输出所述联轴器断裂信号。

在某些实施方式中，所述固定部包括光源、透镜、光栏板及光电元件，所述活动部包括光电码盘，所述光电码盘固定在所述传动轴上，所述透镜、所述光栏板、所述光电码盘和所述光电元件沿所述光源的出光光路依次设置。

在某些实施方式中，所述干式蚀刻机包括与所述传感器连接的报警器，所述报警器用于根据所述联轴器断裂信号报警。