[实用新型]一种单晶炉稳定热场

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉稳定热场，包括导流筒、坩埚和加热器，导流筒最外层设有外筒，外筒内侧设有内筒，内筒的内侧设有钼屏，钼屏内部为导流通道，导流筒底部设有导流板，坩埚内部架设有环形钼屏，其外部平行设置有加热器。本实用新型在生产中的热屏中间加上一层钼屏，此方法可以在生产中加大热场的横向梯度，造成热屏中间的温度略低于石英坩埚四周的温度，且温度稳定为晶棒长晶提供有利条件，更能提高长晶的速度，提高了生产效率；在坩埚外部平行设置有加热器，在生产过程中可增加热场的稳定性，更能弥补在氩气流量对热场热量的消耗，有利于稳定的温度，且晶棒长晶过程减少晶棒位错的形成，提高了晶棒的品质。

技术领域

本实用新型涉及单晶制造设备技术领域，具体涉及一种单晶炉稳定热场。

背景技术

单晶炉热屏是热场中重要的组成部分，具有良好的耐热性能、力学性能和一定的保温性能，从而降低生产能耗，并有效控制热场温度梯度。现有单晶炉热场，由于有氩气的流量在生产过程中对加热器所产出的热量有所消耗，而导致热场的温度产生非控制行紊乱，使得晶棒位错的形成增多，不利于生产控制。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种单晶炉稳定热场，本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种单晶炉稳定热场，包括导流筒、坩埚和加热器，所述导流筒最外层设有外筒，所述外筒内侧设有内筒，所述内筒顶部向外弯曲形成钩部，所述钩部与所述外筒固定连接，所述内筒的内侧设有钼屏，所述钼屏内部为导流通道，所述导流筒底部设有导流板，所述导流板通过连接机构与所述外筒的下端凸出部固定连接，所述导流板与所述导流通道之间设有隔板，所述坩埚内部架设有环形钼屏，其外部平行设置有加热器，所述加热器最外侧设有保温屏，所述保温屏内部设有加热管，所述加热管之间通过弧形固定杆连接。

进一步的，所述导流板上设有导流孔。

进一步的，所述导流筒和所述坩埚同轴设置，所述坩埚为石英坩埚。

进一步的，所述钼屏和所述环形钼屏包括多个单层钼片，所述钼片上设有通孔和支撑相邻层钼片的凸起。

进一步的，所述通孔内贯穿设有钼螺钉，所述钼螺钉的一头带有钼螺帽，另一头带有螺纹并与所述内筒螺纹连接。

进一步的，所述钼螺钉两头带有钼螺帽。

进一步的，所述相邻的钼片之间通过所述凸起形成间隙层。

进一步的，所述加热管上连接有铜环电极，所述铜环电极穿过所述保温屏的一端设有引出装置。

有益效果在于：本实用新型在生产中的热屏中间加上一层钼屏，此方法可以在生产中加大热场的横向梯度，造成热屏中间的温度略低于石英坩埚四周的温度，且温度稳定为晶棒长晶提供有利条件，更能提高长晶的速度，提高了生产效率；在坩埚外部平行设置有加热器，在生产过程中可增加热场的稳定性，更能弥补在氩气流量对热场热量的消耗，有利于稳定的温度，且晶棒长晶过程减少晶棒位错的形成，提高了晶棒的品质。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型钼屏的结构视图；

图3是本实用新型环形钼屏的结构视图；

图4是本实用新型加热器结构视图。

具体实施方式