[实用新型]一种多晶硅抛光装置

权利要求书

1.一种多晶硅抛光装置，其特征在于，包括精抛光装置（12）和粗抛光装置（13），所述精抛光装置（12）包括固定电动机（1），所述固定电动机（1）通过伸缩杆（2）穿过固定板（3）与多晶硅固定板（6）相连，所述固定板（3）通过固定杆（4）装有电动机固定板（5），所述电动机固定板（5）下端左右对称装有粗细磨混合砂轮电动机（7）、抛光砂轮电动机（9），所述粗细磨混合砂轮电动机（7）下端装有粗细磨混合砂轮（8），所述抛光砂轮电动机（9）下端装有抛光砂轮（10），所述抛光砂轮（10）下端设有工作台（11）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅抛光装置，其特征在于，所述抛光砂轮（10）上刻有凸纹。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅抛光装置，其特征在于，所述粗细磨混合砂轮（8）为光滑的砂轮。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅抛光装置，其特征在于，所述精抛光装置（12）和粗抛光装置（13）通过电动机固定板（5）上下对称。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅抛光装置，其特征在于，所述精抛光装置（12）和粗抛光装置（13）上的粗细磨混合砂轮（8）旋转方向相反。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅抛光装置，其特征在于，所述精抛光装置（12）和粗抛光装置（13）上的抛光砂轮（10）旋转方向相反。