[实用新型]一种芯片加工系统

权利要求书

1.一种芯片加工系统，其特征在于：包括长方形状的安全栅栏，所述安全栅栏上设置有检测模块，以及设置在安全栅栏内的搬运机械手、进料盒、加工平台和出料盒；所述检测模块、搬运机械手和所述加工平台均受控于控制装置；所述检测模块、搬运机械手和加工平台均与所述控制装置通信连接；

所述进料盒和所述出料盒分置于所述加工平台的旁边，所述进料盒、出料盒以及所述加工平台所在空间均为所述搬运机械手的工作空间；所述搬运机械手用于将进料盒中的待加工芯片取出放置于加工平台，并将加工平台加工后的成品芯片取出放置于出料盒；

所述检测模块包括四个摄像头、多个红外传感器和警报器，所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上，所述多个红外传感器分布在安全栅栏上，通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控，当监测到有外来人或物接近安全栅栏时，将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业，所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停。

2.根据权利要求1所述的一种芯片加工系统，其特征在于：

所述搬运机械手包括升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器，所述升降平台包括一升降轴，所述大臂通过第一转动副与升降轴连接，所述中臂通过第二转动副与大臂连接，所述小臂通过第三转动副与中臂连接，所述末端执行器通过一移动副与小臂连接，所述末端执行器抓取代加工芯片，所述搬运机械手采用多个伺服电机的来驱动升降平台、大臂、中臂、小臂和末端执行器运动；

所述加工平台用于对待加工芯片进行加工，所述加工平台上安装有固定架，所述固定架上安置一磨削刀具，所述磨削刀具在平行于所述固定架的平面内旋转，所述固定架上还设置一回转台，所述回转台上设置多个放置台，每个放置台上均能够放置一个待加工芯片；

所述搬运机械手中设置有机械手控制单元，所述机械手控制单元与所述控制装置通信连接，以使得所述搬运机械手受控于所述控制装置。

3.根据权利要求2所述的一种芯片加工系统，其特征在于：所述末端执行器为吸盘。