[实用新型]一种抛光研磨机的上盘水冷机构

权利要求书

1.一种抛光研磨机的上盘水冷机构，包括进水组件，抛光研磨机包括机架、上盘升降机构和上盘，上盘升降机构包括提升气缸和上盘连接轴，提升气缸通过上盘连接轴与上盘连接；上盘包括冷却水套，冷却水套通过管道与进水组件连接；其特征在于，进水组件包括套筒和三个水封，套筒松套在上盘连接轴的中部；水封安装在套筒的内孔中，三个水封的内缘与上盘连接轴适配，沿上盘连接轴的轴向将套筒的内腔分隔成两个环形腔；上盘连接轴包括两条轴向水道，轴向水道包括上出入口和下出入口，轴向水道的上出入口位于上盘连接轴的上部，第一轴向水道的下出入口与第一环形腔连通，第二轴向水道的下出入口与第二环形腔连通；套筒包括两个出入口，套筒的第一出入口与第一环形腔连通，套筒的第二出入口与第二环形腔连通；套筒的两个出入口分别通过管道与上盘冷却水套的出入口连通。

2.根据权利要求1所述的上盘水冷机构，其特征在于，进水组件包括滚动轴承，滚动轴承的外圈固定在套筒的内孔中，内圈固定在上盘连接轴上。

3.根据权利要求2所述的上盘水冷机构，其特征在于，上盘连接轴包括连接轴和不锈钢套，不锈钢套紧套在连接轴的中部，不锈钢套的壁上包括两个通孔；所述的轴向水道位于连接轴中，所述的通孔作为轴向水道的下出入口与轴向水道的下端连通；滚动轴承的内圈固定在连接轴上，压在不锈钢套的顶面上；水封的内缘与不锈钢套的外周适配。

4.根据权利要求1所述的上盘水冷机构，其特征在于，上盘包括盘体、万向平衡机构、托盘和复数根立柱，托盘布置在盘体的上方，托盘与盘体通过立柱连接；万向平衡机构固定在托盘的中部，与上盘连接轴的下部通过关节轴承连接。

5.根据权利要求4所述的上盘水冷机构，其特征在于，万向平衡机构包括轴承座、内套筒、连接销和所述的关节轴承；轴承座固定在托盘的中部，内套筒上下两端通过轴承安装在轴承座中；上盘连接轴下部包括与上盘连接轴轴线正交的承孔，关节轴承的外环固定在承孔中；内套筒高度方向的中部包括连接销孔，连接销孔横向穿过内套筒；上盘连接轴的下部插入到内套筒的内孔中，连接销穿过内套筒的连接销孔和关节轴承的内环孔，将上盘连接轴的下部与上盘连接在一起。

6.根据权利要求5所述的上盘水冷机构，其特征在于，万向平衡机构包括两个定位套，两个定位套从两端插入承孔，将关节轴承的外环固定在承孔的中部；连接销包括阶梯轴和轴套，阶梯轴的大轴与内套筒一侧的连接销孔适配，阶梯轴大轴的外侧包括突缘；阶梯轴的小轴穿过关节轴承的内环孔插入内套筒另一侧的连接销孔，轴套套在阶梯轴的小轴上，外周与内套筒另一侧的连接销孔适配，轴套的外侧包括突缘。

7.根据权利要求4所述的上盘水冷机构，其特征在于，盘体包括结合盘、水冷盘和磨盘，结合盘与托盘通过立柱连接；结合盘的下部与水冷盘连接，水冷盘与磨盘连接；水冷盘的底部包括冷却水道，水冷盘与磨盘之间用螺栓锁紧，水冷盘的底面与磨盘的顶面之间通过密封胶密封；水冷盘的顶部包括两个进出水口，水冷盘的两个进出水口与冷却水道连通，水冷盘的两个进出水口分别通过软管与套筒的两个出入口连通。

8.根据权利要求7所述的上盘水冷机构，其特征在于，包括抛光液分流装置，抛光液分流装置包括条形的支阀板、环形的液流槽和复数个阀门；支阀板的中部固定在上盘连接轴的上部，液流槽固定在托盘的外周；阀门固定在支阀板的两端，入口外接抛光液供给装置，出口向下朝向液流槽上部的开口；液流槽包括复数个出液口，出液口与液流槽的内腔连通；水冷盘包括复数个与磨盘连通的进液口，液流槽的出液口通过软管与水冷盘的进液口连通。