[实用新型]霍尔元件

说明书

本实用新型提供一种霍尔元件。该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于所述基板上；以及四个接触部，其形成于所述磁感应部上，被所述四个接触部包围起来的区域全部被包含在所述磁感应部内，所述磁感应部的平面形状在至少一个角具有圆角。由此，能够设为难以产生电流集中的形状，能够抑制1/f噪声，而且能够抑制霍尔元件的输出特性的变动。

技术领域

本实用新型涉及一种霍尔元件。

背景技术

以往，公知有在具有磁感应部的霍尔元件中，将磁感应部的平面形状设为矩形状、十字形状的霍尔元件(例如，参照专利文献1～3)。

专利文献1：日本特开昭60-175471号公报

专利文献2：日本特表2004-519870号公报

专利文献3：日本特开昭62-12974号公报

实用新型内容

实用新型要解决的问题

然而，在以往的霍尔元件中，存在电流在磁感应部的外侧的端部集中，导致霍尔输出电压产生变动的情况。

用于解决问题的方案

在本实用新型的第1技术方案中，提供一种霍尔元件，该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于所述基板上；以及四个接触部，其形成于所述磁感应部上，被所述四个接触部包围起来的区域全部被包含在所述磁感应部内，所述磁感应部的平面形状在至少一个角具有圆角。

基于第1技术方案，在本实用新型的第2技术方案中，提供一种霍尔元件，该霍尔元件还包括：绝缘膜，其形成于所述磁感应部上；以及四个电极部，其形成于所述绝缘膜上，所述四个接触部贯穿所述绝缘膜，将所述电极部和所述磁感应部电连接起来。

基于第2技术方案，在本实用新型的第3技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

所述四个电极部配置为俯视时位于所述基板的四角。

基于第2技术方案，在本实用新型的第4技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

所述四个电极部下的有效区域的面积相对于所述磁感应部的有效区域的总面积的比例为40％以上且99％以下。

基于第2技术方案，在本实用新型的第5技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

所述绝缘膜的厚度为100nm以上。

基于第2技术方案，在本实用新型的第6技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

所述电极部具有在俯视时向所述磁感应部的中央区域侧延伸出的延伸部。

基于第2技术方案，在本实用新型的第7技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

所述霍尔元件作为所述电极部具有输入用电极部和输出用电极部，其中，所述输入用电极部用于使电流流向所述磁感应部，所述输出用电极部用于检测所述磁感应部的霍尔电压，

所述输入用电极部之间的距离和所述输出用电极部之间的距离分别为1μm以上且40μm以下。

基于第2技术方案，在本实用新型的第8技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

在包含所述磁感应部的中心和所述电极部与所述磁感应部接触的区域的中心在内的剖面中，所述接触部的至少一部分延伸到所述绝缘膜的下部。

基于第8技术方案，在本实用新型的第9技术方案中，提供一种霍尔元件，在该霍尔元件中，

所述接触部的至少一部分自所述接触部的侧面与所述磁感应部的最外表面接触的点向所述磁感应部的中心侧或深度侧延伸50nm以上。