[实用新型]一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置

权利要求书

1.一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：包括设置在高纯气瓶（1）外部的加热器（2），所述高纯气瓶（1）的外部侧壁上设有测温热电偶（16），所述高纯气瓶（1）的入口连接有羰基镍进气管（9）和CO/N₂进气连接管（8），所述羰基镍进气管（9）上设有羰基镍进气控制阀（10），所述CO/N₂进气连接管（8）上设有CO/N₂进气控制阀（6），所述CO/N₂进气连接管（8）连接有CO进气管（17）和N₂进气管（18），所述高纯气瓶（1）的出口连接有出气管（12），所述出气管（12）上设有压力计（15），所述出气管（12）连接有排废管（19）和分解器连接管（20），所述排废管（19）上设有排废控制阀（13），所述分解器连接管（20）上设有分解处理控制阀（14），所述分解器连接管（20）连接有分解器（3）。

2.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述羰基镍进气管（9）上设有羰基镍进气流量计（11）。

3.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述CO/N₂进气连接管（8）上设有CO/N₂进气流量计（7）。

4.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述CO进气管（17）上设有CO进气手阀（5）。

5.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述N₂进气管（18）上设有N₂进气手阀（4）。

6.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述测温热电偶（16）至少为三个且均匀布置在高纯气瓶（1）的外部侧壁上。

7.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述出气管（12）的管径为羰基镍进气管（9）、CO/N₂进气连接管（8）管径的三倍。

8.根据权利要求1所述的一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：所述加热器（2）与高纯气瓶（1）中心对称且加热器（2）为红外或电阻加热器。