[实用新型]一种刻蚀槽的盖板有效
| 申请号： | 201721561842.X | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN207458978U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨健;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 盖板本体 刻蚀槽 挡板 盖板 本实用新型 硅片 太阳能电池技术 导向作用 间隔设置 倾斜设置 外界环境 药液挥发 一端连接 有效地 滴落 滑落 挥发 内壁 平行 传输 延伸 轨道 | ||
1.一种刻蚀槽的盖板，其特征在于，包括：设置于刻蚀槽(10)上方的盖板本体(1)，所述盖板本体(1)的内壁上设有平行且间隔设置的若干个挡板(11)；
所述挡板(11)的一端连接于所述盖板本体(1)，另一端朝向所述刻蚀槽(10)延伸，所述挡板(11)相对于所述盖板本体(1)倾斜设置且两者之间形成有一夹角。
2.根据权利要求1所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述盖板本体(1)倾斜设置于所述刻蚀槽(10)的上方。
3.根据权利要求1所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述刻蚀槽(10)内设置有若干个平行且间隔设置的轨道(101)，相邻两个所述轨道(101)之间设置有间隙(102)，所述挡板(11)的另一端延伸至相邻两个所述轨道(101)之间，且位于所述间隙(102)的正上方。
4.根据权利要求1所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，若干个所述挡板(11)在所述刻蚀槽(10)的底面上的投影首尾相接。
5.根据权利要求3所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述刻蚀槽(10)的周向设置有立板(103)，所述盖板本体(1)与所述立板(103)连接并与所述立板(103)形成封闭空间(104)。
6.根据权利要求5所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述盖板本体(1)上开设有若干个进气孔(12)，所述进气孔(12)设置于相邻的所述挡板(11)之间，所述进气孔(12)连通于所述封闭空间(104)。
7.根据权利要求6所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述进气孔(12)的直径为1-2cm。
8.根据权利要求6所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述封闭空间(104)内的压强为-50Pa。
9.根据权利要求5所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述盖板本体(1)的一端设置有一所述挡板(11)，所述挡板(11)的另一端延伸至所述轨道(101)与所述立板(103)之间且位于所述轨道(101)的上方。
10.根据权利要求1所述的刻蚀槽的盖板，其特征在于，所述挡板(11)与所述盖板本体(1)之间的夹角为100-120°。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
