[实用新型]一种刻蚀槽的盖板

说明书

本实用新型涉及一种刻蚀槽的盖板，属于太阳能电池技术领域，该刻蚀槽的盖板包括：设置于刻蚀槽上方的盖板本体，盖板本体的内壁上设有平行且间隔设置的若干个挡板；挡板的一端连接于盖板本体，另一端朝向刻蚀槽延伸，使挡板与盖板本体之间倾斜设置，并形成有一夹角。本实用新型在刻蚀槽的上方设置盖板本体，有效地防止了刻蚀槽内的药液挥发至外界环境中而浪费药液；通过在盖板本体上设置若干挡板，而挡板与盖板本体之间具有一定的夹角，使得挥发后聚集到盖板本体上的药液通过挡板的导向作用滑落至挡板最低处，最终滴落至刻蚀槽内相邻的用于传输硅片的轨道之间的间隙内，从而避免了硅片过刻的情况发生。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种刻蚀槽的盖板。

背景技术

在太阳能生产制造技术中，对硅片进行刻蚀时，一般将硅片放置于传动系统上，传动系统设置于带有盖板的刻蚀槽内，通过刻蚀槽内的药液与硅片的底部接触，从而实现对硅片的刻蚀。但是，在对硅片进行刻蚀的过程中，由于刻蚀槽的药液有挥发性，会挥发并在盖板上聚集，形成滴液，最终滴落在硅片上，从而导致硅片过刻，影响硅片的生产质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种刻蚀槽的盖板，能够解决现有技术中由于刻蚀槽内的药液挥发后在盖板上聚集、并形成滴液后滴落到硅片上而导致硅片过刻的技术问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种刻蚀槽的盖板，包括：设置于刻蚀槽上方的盖板本体，所述盖板本体的内壁上设有平行且间隔设置的若干个挡板；

所述挡板的一端连接于所述盖板本体，另一端朝向所述刻蚀槽延伸，所述挡板相对于所述盖板本体倾斜设置且两者之间形成有一夹角。

进一步的，所述盖板本体倾斜设置于所述刻蚀槽的上方。

进一步的，所述刻蚀槽内设置有若干个平行且间隔设置的轨道，相邻两个所述轨道之间设置有间隙，所述挡板的另一端延伸至相邻两个所述轨道之间，且位于所述间隙的正上方；

使用时所述轨道上设置有多个间隔设置的硅片，所述挡板的另一端延伸至相邻轨道的硅片之间，且位于相邻轨道的硅片间隙的正上方。

进一步的，若干个所述挡板在所述刻蚀槽的底面上的投影首尾相接。

进一步的，所述刻蚀槽的周向设置有立板，所述盖板本体与所述立板连接并与所述立板形成封闭空间。

进一步的，所述盖板本体上开设有若干个进气孔，所述进气孔设置于相邻的所述挡板之间，所述进气孔连通于所述封闭空间。

进一步的，所述进气孔的直径为1-2cm。

进一步的，所述封闭空间内的压强为-50Pa。

进一步的，所述盖板本体的一端设置有一所述挡板，所述挡板的另一端延伸至所述轨道与所述立板之间且位于所述轨道的上方。

进一步的，所述挡板与所述盖板本体之间的夹角为100-120°。

本实用新型的有益效果：

本实用新型在刻蚀槽的上方设置盖板本体，有效地防止了刻蚀槽内的药液挥发至外界环境中而浪费药液；通过在盖板本体上设置若干挡板，而挡板与盖板本体之间的夹角，使得挥发后聚集到盖板本体上的药液通过挡板的导向作用，滑落至挡板最低处，最终滴落至刻蚀槽内相邻的用于传输硅片的轨道之间的间隙内，从而避免了硅片过刻的情况发生。

附图说明

图1是本实用新型提供的刻蚀槽的盖板安装于刻蚀槽上方时的结构示意图；

图2是本实用新型提供的刻蚀槽内的轨道的示意图。

图中：