[实用新型]一种硅片刻蚀传动结构

权利要求书

1.一种硅片刻蚀传动结构，其特征在于，包括：

支架(1)；

传送带(2)，设置于所述支架(1)上方，所述传送带(2)的两侧均设置有锯齿(21)；

转轴(3)，转动连接于所述支架(1)并位于所述支架(1)的两端，所述传送带(2)包裹于所述转轴(3)的外部；

辅助啮合部(4)，分别设置于所述转轴(3)的两端，所述辅助啮合部(4)能够与所述锯齿(21)啮合；及

驱动部件，用于驱动所述转轴(3)转动。

2.根据权利要求1所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述辅助啮合部(4)位于所述传送带(2)的两侧。

3.根据权利要求1所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述辅助啮合部(4)为端面齿轮。

4.根据权利要求1所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述传送带(2)为网状结构，所述传送带(2)包括若干网格(22)。

5.根据权利要求4所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述网格(22)为菱形结构，所述网格的长度为0.2-0.5cm，所述网格的宽度为0.1-0.3cm。

6.根据权利要求5所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述转轴(3)上设置有不少于一个的滚轮，所述滚轮周向设置有齿牙，所述齿牙与所述网格(22)相适配，并能够插入所述网格(22)内。

7.根据权利要求6所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述齿牙未超出所述传送带(2)的上表面。

8.根据权利要求1所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述支架(1)包括第一支架(11)、第二支架(12)及多个支撑杆(13)，所述支撑杆(13)设置于所述第一支架(11)和所述第二支架(12)之间；

所述传送带(2)位于所述支撑杆(13)的上方；

所述转轴(3)分别转动连接于所述第一支架(11)和所述第二支架(12)。

9.根据权利要求8所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述支撑杆(13)包括竖向支撑杆(131)和横向支撑杆(132)，所述横向支撑杆(132)垂直连接于所述竖向支撑杆(131)，且所述横向支撑杆(132)的两端分别连接于所述第一支架(11)和所述第二支架(12)。

10.根据权利要求1所述的硅片刻蚀传动结构，其特征在于，所述转轴(3)的直径为5-8cm。