[实用新型]一种硅片刻蚀传动结构有效
申请号: | 201721561846.8 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN207458979U | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 李邦勇;党继东 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传送带 硅片 刻蚀 支架 啮合 传动结构 转轴 本实用新型 太阳能电池技术 锯齿 锯齿啮合 两侧设置 驱动部件 转动连接 转轴转动 滚轮 传送 驱动 外部 保证 | ||
本实用新型涉及一种硅片刻蚀传动结构,属于太阳能电池技术领域,包括支架;传送带,其设置于所述支架上方,所述传送带的两侧均设置有锯齿;转轴,其转动连接于所述支架并位于所述支架的两端,所述传送带包裹于所述转轴的外部;辅助啮合部,分别设置于所述转轴的两端,所述辅助啮合部能够与所述锯齿啮合;及用于驱动所述转轴转动的驱动部件。通过在传送带的两侧设置辅助啮合部,能够保证传送带能够稳定地传送硅片,避免了由于传送带运行不平稳而导致硅片过刻的情况,从而提高了硅片在刻蚀时的效率。此外,本实用新型提供的硅片刻蚀传动结构安装及调整方便,解决了现有技术中由于需要安装若干细滚轮而导致安装和调整过程极为繁琐的技术问题。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种硅片刻蚀传动结构。
背景技术
在太阳能生产制造技术中,对硅片进行刻蚀时,需要通过动力传输机构对硅片进行传输,传输方式一般通过多个滚轮进行传输,硅片依靠滚轮支撑,保证硅片漂浮于液面上,通过多个滚轮的支撑作用以及液体的毛细现象,使硅片边缘和下部与液体接触,从而实现对PN结的刻蚀。采用现有技术对硅片的PN结进行刻蚀的过程中,滚轮如果出现不平衡的情况的话,会导致过刻的现象,此外,滚轮的安装和调整过程也极为繁琐,很难保证滚轮的平衡。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种硅片刻蚀传动结构,能够解决上述技术问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种硅片刻蚀传动结构,包括:
支架;
传送带,其设置于所述支架上方,所述传送带的两侧均设置有锯齿;
转轴,其转动连接于所述支架并位于所述支架的两端,所述传送带包裹于所述转轴的外部;
辅助啮合部,分别设置于所述转轴的两端,所述辅助啮合部能够与所述锯齿啮合;及
驱动部件,用于驱动所述转轴转动。
进一步的,所述辅助啮合部固设于所述转轴的两端并位于所述传送带的两侧。
进一步的,所述辅助啮合部为端面齿轮。
进一步的,所述传送带为网状结构,所述传送带包括若干网格。
进一步的,所述网格为菱形结构,所述网格的长度为0.2-0.5cm,所述网格的宽度为0.1-0.3cm。
进一步的,所述转轴上设置有不少于一个的滚轮,所述滚轮周向设置有齿牙,所述齿牙与所述网格相适配,并能够插入所述网格内。
进一步的,所述齿牙未超出所述传送带的上表面。
进一步的,所述支架包括第一支架、第二支架及多个支撑杆,所述支撑杆设置于所述第一支架和所述第二支架之间,且所述支撑杆的两端分别连接于所述第一支架和所述第二支架;
所述传送带位于所述支撑杆的上方;
所述转轴分别转动连接于所述第一支架和所述第二支架。
进一步的,所述支撑杆包括竖向支撑杆和横向支撑杆,所述横向支撑杆垂直连接于所述竖向支撑杆,且所述横向支撑杆的两端连接于所述第一支架和所述第二支架。
进一步的,所述转轴的直径为5-8cm。
本实用新型的有益效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的