[实用新型]一种厚胶光刻用烘焙装置

权利要求书

1.一种厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，包括箱体，所述箱体左端与合页固定连接，所述合页与箱门固定连接，所述箱体内部与烘焙板固定连接，所述箱体内部烘焙板下方设有盛放板，所述烘焙板与盛放板交替放置，所述烘焙板右端与分气管连接，所述分气管与第一供气管固定连接，所述第一供气管一端开口，另一端封闭，所述第一供气管的开口端与电加热箱固定连接，所述电加热箱内部设有电加热块，所述电加热箱上端与供电装置固定连接，所述供电装置与电加热块电性连接，所述电加热箱的另一端与连接管固定连接，所述连接管的另一端与气泵固定连接。

2.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述气泵下端与集气口固定连接，所述集气口伸入箱体内部。

3.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述盛放板上设有多个盛放孔，所述盛放孔成正方形排列。

4.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述烘焙板内部设有第二供气管，所述第二供气管与分气管固定连接，所述烘焙板内部的第二供气管与第三供气管连接，所述第三供气管纵向排列，所述第三供气管上安装有出气口。

5.根据权利要求4所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述出气口的位置与盛放孔的位置对应。

6.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述箱门外围与密封圈固定连接。

7.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述箱门中间与可视窗口固定连接。

8.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述箱体内部设有燕尾槽，所述盛放板左右两端与燕尾槽凸块固定连接，所述盛放板通过燕尾槽凸块安装在箱体的燕尾槽内。

9.根据权利要求1所述的厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，所述盛放板前端与把手固定连接。