[实用新型]一种厚胶光刻用烘焙装置

说明书

本实用新型公开了一种厚胶光刻用烘焙装置，包括箱体，所述箱体左端与合页固定连接，所述合页与箱门固定连接，所述箱体内部与烘焙板固定连接，所述箱体内部烘焙板下方设有盛放板，所述烘焙板与盛放板交替放置，所述烘焙板右端与分气管连接，所述分气管与第一供气管固定连接，所述第一供气管一端开口，另一端封闭，所述第一供气管的开口端与电加热箱固定连接，所述电加热箱内部设有电加热块，所述电加热箱上端与供电装置固定连接，所述供电装置与电加热块电性连接，所述电加热箱的另一端与连接管固定连接，所述连接管的另一端与气泵固定连接；本实用新型实现了对光刻板的烘焙。

技术领域：

本实用新型涉及光刻工艺技术领域，尤其涉及一种厚胶光刻用烘焙装置。

背景技术：

在进行光刻工艺时，光刻胶被涂到硅片表面后必须要经过软烘，软烘的目的是去除光刻胶中的溶剂。软烘提高了粘附性，提升了硅片上光刻胶的均匀性，在刻蚀中得到了更好的线宽控制。典型的软烘条件是在热板上以90℃到100℃的温度将硅片烘烤30秒左右，然后将硅片置于冷板之上进行降温，以得到光刻胶一直特性的硅片温度控制。

现在的厚胶光刻烘焙都是单个进行烘焙，缺少一种可以批量烘焙的装置。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种厚胶光刻用烘焙装置。

本实用新型由如下技术方案实施：一种厚胶光刻用烘焙装置，包括箱体，所述箱体左端与合页固定连接，所述合页与箱门固定连接，所述箱体内部与烘焙板固定连接，所述箱体内部烘焙板下方设有盛放板，所述烘焙板与盛放板交替放置，所述烘焙板右端与分气管连接，所述分气管与第一供气管固定连接，所述第一供气管一端开口，另一端封闭，所述第一供气管的开口端与电加热箱固定连接，所述电加热箱内部设有电加热块，所述电加热箱上端与供电装置固定连接，所述供电装置与电加热块电性连接，所述电加热箱的另一端与连接管固定连接，所述连接管的另一端与气泵固定连接。

进一步，所述气泵下端与集气口固定连接，所述集气口伸入箱体内部，实现了箱体内部气体的循环，防止外界空气进入箱体内部影响烘焙效果。

进一步，所述盛放板上设有多个盛放孔，所述盛放孔成正方形排列，盛放板上的盛放孔实现了批量光刻板的同时烘焙。

进一步，所述烘焙板内部设有第二供气管，所述第二供气管与分气管固定连接，所述烘焙板内部的第二供气管与第三供气管连接，所述第三供气管纵向排列，所述第三供气管上安装有出气口，烘焙板内部的第二供气管和第三供气管实现了对烘焙气体的分散，保证了每个盛放孔上的光刻板都可以受到热空气的烘焙。

进一步，所述出气口的位置与盛放孔的位置对应，保证了热空气可以正直的吹到盛放孔上的光刻板上。

进一步，所述箱门外围与密封圈固定连接，保证了箱门关闭的密封，防止外界空气进入箱体内部。

进一步，所述箱门中间与可视窗口固定连接，使外界人员可以观察箱体内部的情况。

进一步，所述箱体内部设有燕尾槽，所述盛放板左右两端与燕尾槽凸块固定连接，所述盛放板通过燕尾槽凸块安装在箱体的燕尾槽内，保证了盛放板的可拆卸，方便了光刻板的装上和卸下。

进一步，所述盛放板前端与把手固定连接，使盛放板把手卸下的同时有抓手可以借上力。

本实用新型的优点：本实用新型实现了对光刻板的烘焙；通过设置多个盛放孔实现了同时对多个光刻板进行烘焙，提高了烘焙效率；通过气泵的集气口的设置实现了对气体的循环，使得整个烘焙过程不受外部气体进入的影响。

附图说明：