[实用新型]精密设备及其气浮式工作台有效
| 申请号： | 201721574774.0 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207548682U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张晓辉;刘涛;宋高峰;黎锦宁;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;F16F15/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 石佩 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载料台 挡板 气浮式工作台 导向结构 缓冲组件 精密设备 两端位置 平行设置 气浮垫 四角处 撞击力 缓冲 滑动连接 两端设置 确保设备 设备平台 气浮式 相向 摩擦 移动 | ||
1.一种气浮式工作台，所述气浮式工作台设置于精密设备的设备平台上，以用于承载物料；其特征在于，所述气浮式工作台包括：
两挡板，平行设置于所述设备平台上；且两所述挡板相向一侧设有导向结构；
载料台，两端分别通过所述导向结构与两所述挡板滑动连接；所述载料台的四角处设有气浮垫；
缓冲组件，设于两所述挡板的两端，以缓冲所述载料台沿所述导向结构运动至两端位置时的撞击力。
2.根据权利要求1所述的气浮式工作台，其特征在于：两所述挡板朝所述载料台的一侧分别设有光栅尺，所述光栅尺与所述导向结构相平行。
3.根据权利要求1所述的气浮式工作台，其特征在于：所述导向结构为开设于两挡板面向所述载料台一侧的滑槽，所述载料台上设有与所述滑槽滑动配合的滑块。
4.根据权利要求3所述的气浮式工作台，其特征在于：所述滑块的内侧设有直线电机，以驱动所述载料台沿所述滑槽移动。
5.根据权利要求4所述的气浮式工作台，其特征在于：所述直线电机的两端分别设有第一感应片和第二感应片，以分别限制所述直线电机驱动所述载料台沿所述滑槽移动的行程。
6.根据权利要求5所述的气浮式工作台，其特征在于：所述缓冲组件包括第一缓冲柱和第二缓冲柱；所述第一缓冲柱设于所述设备平台上且与所述载料台相对，以对所述载料台进行缓冲；所述第二缓冲柱设于所述挡板开设所述滑槽的一侧且与所述滑块相对，以对所述滑块进行缓冲。
7.根据权利要求6所述的气浮式工作台，其特征在于：所述缓冲组件还包括第一安装架和第二安装架，所述第一缓冲柱和第二缓冲柱分别安装于所述第一安装架和第二安装架上。
8.根据权利要求1所述的气浮式工作台，其特征在于：所述气浮垫为多个，分别设置于所述载料台的底面和侧面。
9.根据权利要求8所述的气浮式工作台，其特征在于：所述气浮垫的底部沿边缘开设有环形凹槽。
10.一种精密设备，其特征在于：包括如权利要求1-9任一项所述的气浮式工作台。
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