[实用新型]精密设备及其气浮式工作台

说明书

本实用新型涉及一种精密设备及其气浮式工作台，该气浮式工作台包括：平行设置于设备平台上的两挡板；且两挡板相向一侧设有导向结构；载料台，两端分别通过导向结构与两挡板滑动连接；载料台的四角处设有气浮垫；以及设于两挡板两端的缓冲组件，用以缓冲载料台沿导向结构运动至两端位置时的撞击力。该气浮式工作台通过将载料台滑设在两平行设置的挡板上，并在载料台的四角处设置气浮垫，从而载料台移动时，不会有摩擦，运行较平稳，此外，在挡板的两端设置的缓冲组件可以有效缓冲载料台运行到两端位置时的撞击力，从而确保设备正常运行。

技术领域

本实用新型属于精密设备领域，尤其涉及一种精密设备及其气浮式工作台。

背景技术

随着机械设备的发展，对于工作平台定位精度的要求越来越高。精密定位是精密机械设备最为关键的一部分，可为电子设备、激光设备、微型制造设备、航天设备等领域提供精密定位和稳定运行的载物平台。目前市场上工作平台按导轨形式分为三种：机械式、磁悬浮式和气浮式，近年来机械平台因其摩擦大和运行死角等问题逐渐淡出精密设备的应用，磁悬浮式和气浮式凭借无接触无摩擦的优势得到越来越广泛的应用，但磁悬浮式制造成本较高，而气浮式具备高性价比的优点。

目前的气浮式工作平台在运行时易受到环境振动或力学方面因素的干扰而稳定性不佳。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种运行稳定的气浮式工作台以及包括该气浮式工作台的精密设备。

一种气浮式工作台，所述气浮式工作台设置于精密设备的设备平台上，以用于承载物料；该气浮式工作台包括：

两挡板，平行设置于所述设备平台上；且两所述挡板相向一侧设有导向结构；

载料台，两端分别通过所述导向结构与两所述挡板滑动连接；所述载料台的四角处设有气浮垫；

缓冲组件，设于两所述挡板的两端，以缓冲所述载料台沿所述导向结构运动至两端位置时的撞击力。

在其中一个实施例中，两所述挡板朝所述载料台的一侧分别设有光栅尺，所述光栅尺与所述导向结构相平行。

在其中一个实施例中，所述导向结构为开设于两挡板面向所述载料台一侧的滑槽，所述载料台上设有与所述滑槽滑动配合的滑块。

在其中一个实施例中，所述滑块的内侧设有直线电机，以驱动所述载料台沿所述滑槽移动。

在其中一个实施例中，所述直线电机的两端分别设有第一感应片和第二感应片，以分别限制所述直线电机驱动所述载料台沿所述滑槽移动的行程。

在其中一个实施例中，所述缓冲组件包括第一缓冲柱和第二缓冲柱；所述第一缓冲柱设于所述设备平台上且与所述载料台相对，以对所述载料台进行缓冲；所述第二缓冲柱设于所述挡板开设所述滑槽的一侧且与所述滑块相对，以对所述滑块进行缓冲。

在其中一个实施例中，所述缓冲组件还包括第一安装架和第二安装架，所述第一缓冲柱和第二缓冲柱分别安装于所述第一安装架和第二安装架上。

在其中一个实施例中，所述气浮垫为多个，分别设置于所述载料台的底面和侧面。

在其中一个实施例中，所述气浮垫的底部沿边缘开设有环形凹槽。

相应的，本实用新型还提供了一种精密设备，包括上述的气浮式工作台。

本实用新型提供的精密设备及其气浮式工作台，该气浮式工作台通过将载料台滑设在两平行设置的挡板上，并在载料台的四角处设置气浮垫，从而载料台移动时，不会有摩擦，运行较平稳，此外，在挡板的两端设置的缓冲组件可以有效缓冲载料台运行到两端位置时的撞击力，从而确保设备正常运行。

附图说明

图1为一实施方式中气浮式工作台整体结构示意图；