[实用新型]一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置

权利要求书

1.一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，其特征在于：所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管，第二抽气管的一端连接有第一抽气管，并通过第一抽气管连接有主炉室，所述第三抽气管的一端连接有三通管一，所述三通管一上设有三通阀，且三通管一的其余两端分别连接有进气管，并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵，所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管，并通过出气管连接有三通管二，所述三通管二的一端连接有扩散泵，所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台，且连接处设有连接器，所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆，所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁，且第一连接环对应管台设有台槽，所述第一连接环的表面设有移动槽，所述移动槽沿圆周逐渐改变，由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽的深度逐渐增加，所述移动槽内滑动连接有连接杆，所述第一连接环的一侧还设有第二连接环，第二连接环对应连接杆设有杆槽，所述集尘室包括集尘壳体，所述集尘壳体的进口端设有导流板，出口端设有滤网，所述导流板沿圆周固定有多个固定杆，所述固定杆的一端固定有固定环，固定杆上还转动连接有旋转叶，所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述第三抽气管、三通管一、进气管、出气管和三通管二的连接端均设有管台和连接器。

3.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述第一连接环上沿圆周均匀设置有四个移动槽和第一销孔，第二连接环上沿圆周均匀对应设有四个杆槽，所述第二连接环上沿圆周均匀设有十二个第二销孔，第二销孔和第一销孔位于同一圆周上。

4.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述连接杆包括移动块、横杆和压杆，所述移动槽对应设为T形槽，所述移动块和横杆位于T形槽中，压杆与第一抽气管的管台端面接触。

5.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述第一连接环的台槽、第二连接环的内径和管台的外径相等。

6.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述第二连接环的外径大于第一连接环的外径。

7.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述固定环包括外圈和辐条，所述外圈的外侧与集尘壳体固定连接，内侧沿圆周均匀固定有四根辐条，所述固定杆的数目与辐条数目相等，且辐条对应固定杆的位置设有固定孔，并与固定杆对应连接。

8.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述旋转叶的一端固定连接有旋转环，并通过旋转环与固定杆转动连接，所述固定杆上沿轴向均匀设置有五个旋转环，所述旋转环上沿圆周均匀设置有四根旋转叶。