[实用新型]一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置

说明书

本实用新型公开了蓝宝石晶体生长技术领域的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，本实用新型通过设置集尘室，气流通过导流板与旋转叶接触，旋转叶转动与空气摩擦产生静电，通过静电吸附以及滤网收集原料粉末，减少进入第一旋片泵和第二旋片泵中的粉尘；设置有第一旋片泵和第二旋片泵，并通过三通阀切换，防止使用过程中第一旋片泵或是第二旋片泵出现故障导致整个装置无法使用；各管路连接处均设有连接器，取出定位销，旋转第二连接环，使连接杆移动，即可拆开管路之间的连接，简单方便；本实用新型有效减少粉尘造成的影响，安装连接以及更换维修方便，操作简单，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石晶体生长技术领域，具体为一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置。

背景技术

蓝宝石的英文名称为Sapphire，其化学成分为三氧化二铝(Al₂O₃)，因含微量元素钛(Ti₄⁺)或铁(Fe₂⁺)而呈蓝色，属三方晶系。蓝宝石具有熔点高、硬度高、导热性好，透光波段宽，耐腐蚀，可在接近2000℃高温的恶劣环境下工作等优点，已被广泛地应用于科学技术、国防与民用工业等许多高科技领域。

蓝宝石生长炉是蓝宝石提炼的一种重要设备，目前国内外蓝宝石生长炉大多需要对炉体进行抽真空。由于对炉体真空度要求高，所以抽真空设备一般比较昂贵，真空设备所需的机油也要求高。目前国内蓝宝石原料大多为三氧化二铝块状或棒状混合物，由于装料时间隙较多，限制了坩埚内的装料量，而在装料是添加三氧化二铝粉末料，可以减少装料时原料的间隙，使装料量大大增加，提高生产率而降低成本。但是使用三氧化二铝粉末料对生长炉炉体抽真空的同时，粉末会随着气流进入旋片泵和扩散泵，不仅污染了泵油，还可能导致旋片泵在工作时缸体卡死，中断晶体生长，造成严重损失。

基于此，本实用新型设计了一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管，第二抽气管的一端连接有第一抽气管，并通过第一抽气管连接有主炉室，所述第三抽气管的一端连接有三通管一，所述三通管一上设有三通阀，且三通管一的其余两端分别连接有进气管，并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵，所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管，并通过出气管连接有三通管二，所述三通管二的一端连接有扩散泵，所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台，且连接处设有连接器，所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆，所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁，且第一连接环对应管台设有台槽，所述第一连接环的表面设有移动槽，所述移动槽沿圆周逐渐改变，由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽的深度逐渐增加，所述移动槽内滑动连接有连接杆，所述第一连接环的一侧还设有第二连接环，第二连接环对应连接杆设有杆槽，所述集尘室包括集尘壳体，所述集尘壳体的进口端设有导流板，出口端设有滤网，所述导流板沿圆周固定有多个固定杆，所述固定杆的一端固定有固定环，固定杆上还转动连接有旋转叶，所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。

优选的，所述第三抽气管、三通管一、进气管、出气管和三通管二的的连接端均设有管台和连接器。

优选的，所述第一连接环上沿圆周均匀设置有四个移动槽和第一销孔，第二连接环上沿圆周均匀对应设有四个杆槽，所述第二连接环上沿圆周均匀设有十二个第二销孔，第二销孔和第一销孔位于同一圆周上。

优选的，所述连接杆包括移动块、横杆和压杆，所述移动槽对应设为T形槽，所述移动块和横杆位于T形槽中，压杆与第一抽气管的管台端面接触。