[实用新型]一种封装的微器件有效
申请号: | 201721584531.5 | 申请日: | 2017-11-23 |
公开(公告)号: | CN207705147U | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 谢元华 | 申请(专利权)人: | 昌微系统科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60;H01L23/498 |
代理公司: | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人: | 李佳铭;沈汶波 |
地址: | 200025 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微器件 封装体 基板 本实用新型 封装工艺 导线槽 电连接 引脚 封装 工艺步骤 基板覆盖 第一端 基板电 放入 裸露 节约 应用 | ||
1.一种封装的微器件,包括封装体、微器件、基板及导线,其特征在于,所述封装体的一第一面上具有一凹槽,
所述凹槽的内侧具有导线槽,
所述导线放入所述导线槽中,所述导线的两端裸露,
所述微器件固定于所述凹槽,所述导线的一第一端与所述微器件上的微器件引脚电连接,
所述基板覆盖所述凹槽,与所述封装体固定连接,所述微器件固定于所述基板与所述封装体形成的空间中,所述导线的一第二端与所述基板上的基板引脚电连接,
所述微器件通过所述导线与所述基板电连接。
2.如权利要求1所述的封装的微器件,其特征在于,
所述导线槽为一L型槽,
所述导线槽的一第一端位于所述凹槽的侧壁上,与所述凹槽的底面垂直,
所述导线槽的一第二端位于所述凹槽的底面上,与所述凹槽的侧壁垂直,
所述导线放入所述导线槽后,所述导线的第一端对应所述微器件的微器件引脚,所述导线的第二端对应所述基板的基板引脚。
3.如权利要求2所述的封装的微器件,其特征在于,
所述凹槽为一十字型槽,
所述微器件为一矩形结构,
所述十字型槽的长度大于或者等于所述微器件的长度,所述十字型槽的宽度大于所述微器件的宽度。
4.权利要求1所述的封装的微器件,其特征在于,
所述微器件为一微流体电容器,所述微流体电容器包括,
衬底及与所述衬底固定连接的盖板,
所述衬底朝向所述盖板的面上设置有一第一沟道,所述第一沟道中覆盖有一第一导电层,
所述盖板朝向所述衬底的面上,对应所述第一沟道的位置,设置有一第二沟道,所述第二沟道中覆盖一第二导电层,
所述第一沟道与所述第二沟道形成一微流体通道,所述微流体通道与外部流路相连接,所述外部流路中的微流体流入所述微流体通道,形成一以微流体为介质的微流体电容器。
5.如权利要求4所述的封装的微器件,其特征在于,
所述衬底上,所述第一沟道开口的一侧设置有一第一引线触点,所述第一引线触点与所述第一导电层电连接,
所述衬底上,所述第一引线触点的对立侧设置有一第一引线孔,所述第一引线孔纵向贯穿所述衬底,
所述盖板上,对应所述第一引线触点的位置,设置有一第二引线孔,所述第二引线孔纵向贯穿所述盖板,
所述盖板上,对应所述第一引线孔的位置,设置有一第二引线触点,所述第二引线点与所述第二导电层电连接。
6.如权利要求5所述的封装的微器件,其特征在于,
一第一电极嵌入所述第一引线孔,与所述第二引线触点接触,所述第二导电层通过所述第一电极与一外部电路连接,
一第二电极嵌入所述第二引线孔,与所述第一引线触电接触,所述第一导电层通过所述第二电极与一外部电路连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造