[实用新型]一种金刚石薄膜真空沉积炉装置

说明书

一种金刚石薄膜真空沉积炉装置，包括底座、炉体、上盖、沉积台总成和等离子发生器，所述的底座设置在底部，炉体设置在底座的上部，上盖设置在炉体的上部，沉积台总成设置在底座的中心上部，等离子发生器设置在上盖的中心下部；所述的炉体为圆筒结构，炉体的上下贯通，炉体为双层结构，在内层和外层之间设置有炉体水道，内层的内侧为炉体内腔，炉体的侧面设置有炉口，炉口外侧设置有炉门座；通过本实用新型的实施，达到了良好的使用效果：金刚石薄膜真空沉积炉装置有效的克服了传统的炉体温度过高的问题，极大的提高了炉体的稳定性，减少了废品的产生，并且避免了温度过高对炉体的损坏，提高了生产安全，给企业带来更高的效益。

技术领域

本实用新型涉及人造金刚石领域，主要涉及一种金刚石薄膜真空沉积炉装置。

背景技术

在机械工业制造和光学应用领域 ，经常会使用到金刚石，由于天然金刚石的价格非常高，而且力学性能差，实际应用非常有限，但是随着人造金刚石的产生，使金刚石在生产生活中的应用越来越多，人造金刚石的价格合理，使用方便，力学性能超过天然金刚石，所以受到了工业多领域的关注，在人造金刚石的制造工艺中，应用最广泛的是气相沉积法制造金刚石薄膜的制造工艺，由于在制造中产生了大量的高温，所以使用的真空沉积炉的散热就非常重要，如果温度过高就会对真空沉积炉体和产品质量产生重大影响，现有的真空沉积炉普遍存在散热不好的问题，因此需要一种高效的真空沉积炉来解决现有的散热不好的问题。

发明内容

本实用新型的目的是提出了一种金刚石薄膜真空沉积炉装置 ，用于解决现有的现有的真空沉积炉普遍存在散热不好造成金刚石薄膜质量差的问题。

本实用新型的目的可以采用以下的技术方案实现：

一种金刚石薄膜真空沉积炉装置，包括底座、炉体、上盖、沉积台总成和等离子发生器，所述的底座设置在底部，炉体设置在底座的上部，上盖设置在炉体的上部，沉积台总成设置在底座的中心上部，等离子发生器设置在上盖的中心下部；所述的炉体为圆筒结构，炉体的上下贯通，炉体为双层结构，在内层和外层之间设置有炉体水道，内层的内侧为炉体内腔，炉体的侧面设置有炉口，炉口外侧设置有炉门座，炉门座的座体内设置有冷却水道与炉体水道连通，炉门座外侧设置有炉门，炉体的上部端面外侧设置有上连接法兰，上连接法兰上面外侧圆周上设置有上密封圈，炉体的下部端面外侧上设置有下连接法兰，下连接法兰下面外侧圆周上设置有下密封圈，上连接法兰和下连接法兰上均设置有连接螺纹孔，炉体外层上设置有炉体进水管和炉体出水管，炉体进水管的下部设置有真空抽取管，真空抽取管与炉体内腔连通。

所述的上盖上部为圆盘结构，下部为圆柱体结构，上盖的上部圆周外侧均匀设置有通孔，通孔内设置有上盖连接螺栓，上盖连接螺栓的位置与炉体上部的连接螺纹孔对应连接，上盖下部的圆柱体直径小于炉体内腔直径，上盖的中心设置有安装孔，上盖的内部设置有环形的上盖水道，上盖的安装孔两侧设置有上盖进水管和上盖出水管与上盖水道连通。

所述的底座为圆柱体结构，底座内部为中空的底座水道，底座的上面外侧设置有底座法兰，底座法兰上均匀设置有通孔，通孔内设置有底座连接螺栓，底座连接螺栓的位置与炉体上部的连接螺纹孔位置对应连接，底座的中心轴位置设置有上下贯通的套管，套管下部的底座下面上设置有旋转密封环，底座的外侧面上设置有底座进水管和底座出水管与底座水道连通。

通过本实用新型的实施，达到了良好的使用效果：金刚石薄膜真空沉积炉装置有效的克服了传统的炉体温度过高的问题，极大的提高了炉体的稳定性，减少了废品的产生，并且避免了温度过高对炉体的损坏，提高了生产安全，给企业带来更高的效益。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。