[实用新型]一种晶圆自动管式炉

权利要求书

1.一种晶圆自动管式炉，包括支撑架（1），其特征在于：所述支撑架（1）的一端设置有控制台（2），所述支撑架（1）的另一端底部设置有进料管（3），所述进料管（3）的顶部设置有送料装置（4），所述送料装置（4）的上方设置有炉体（5），所述炉体（5）固定安装在支撑架（1）上，所述炉体（5）的底部通过进料口（6）与送料装置（4）连接，所述炉体（5）的内部设置有加热腔，所述加热腔的外侧设置有环形加热器（7），所述环形加热器（7）的外侧设置有保温层（8），所述加热腔的内部一侧设置有进气管（10），所述加热腔的内部另一侧设置有测温管（11），所述保温层（8）的一侧设置有控温热偶（12），所述控温热偶（12）通过导热杆（13）与环形加热器（7）连接，所述保温层（8）的另一侧底部设置有冷风机（14），所述冷风机（14）通过风管（15）与环形加热器（7）连接，所述加热腔的顶端设置有排气管（16），所述排气管（16）远离炉体（5）的一端设置有冷却器（17），所述冷却器（17）上设置有排气口（18），所述环形加热器（7）的顶端设置有降温排风口（20）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动管式炉，其特征在于：所述送料装置（4）采用移动式滑台机构，滑台机构为无杆电缸。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动管式炉，其特征在于：所述炉体（5）的外部采用不锈钢外套，所述加热腔为石英炉管，所述保温层（8）设置为陶瓷纤维层。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动管式炉，其特征在于：所述控温热偶（12）设置有多个，多个控温热偶（12）呈线性排列，且相邻的两个控温热偶（12）等间距设置。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动管式炉，其特征在于：所述风管（15）上设置有多个支管，多个支管呈线性垂直分布，且相邻的两个支管等间距设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动管式炉，其特征在于：所述排气管（16）的外侧设置有排气管补温层（19），所述排气管补温层（19）设置为陶瓷填充层。