[实用新型]一种晶圆自动管式炉

说明书

本实用新型公开了一种晶圆自动管式炉，包括支撑架，所述支撑架的一端设置有控制台，所述支撑架的另一端底部设置有进料管，所述进料管的顶部设置有送料装置，所述送料装置的上方设置有炉体，所述炉体固定安装在支撑架上，所述炉体的底部通过进料口与送料装置连接，所述炉体的内部设置有加热腔，所述加热腔的外侧设置有环形加热器，所述环形加热器的外侧设置有保温层，所述加热腔的内部一侧设置有进气管，所述加热腔的内部另一侧设置有测温管。本实用新型通过在进料管上设置有送料装置，使得本装置可以实现自动上料，在炉体的加热腔外侧设置有环形加热器，使得本装置能够实现全方位加热，提高了本装置的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆炉相关技术领域，特别涉及一种晶圆自动管式炉。

背景技术

目前制备晶圆大多采用箱式炉烧结，箱式炉一次烧结的样品较多，但是由于炉膛内空间加大，炉内温度分布很不均匀，样品不能够被充分加热，且在箱式炉内部保护气不能充分流通，因此炉内氛围不纯净，这两个因素导致了制备的晶圆的质量普遍偏低。因此，发明一种晶圆自动管式炉来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆自动管式炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆自动管式炉，包括支撑架，所述支撑架的一端设置有控制台，所述支撑架的另一端底部设置有进料管，所述进料管的顶部设置有送料装置，所述送料装置的上方设置有炉体，所述炉体固定安装在支撑架上，所述炉体的底部通过进料口与送料装置连接，所述炉体的内部设置有加热腔，所述加热腔的外侧设置有环形加热器，所述环形加热器的外侧设置有保温层，所述加热腔的内部一侧设置有进气管，所述加热腔的内部另一侧设置有测温管，所述保温层的一侧设置有控温热偶，所述控温热偶通过导热杆与环形加热器连接，所述保温层的另一侧底部设置有冷风机，所述冷风机通过风管与环形加热器连接，所述加热腔的顶端设置有排气管，所述排气管远离炉体的一端设置有冷却器，所述冷却器上设置有排气口，所述环形加热器的顶端设置有降温排风口。

优选的，所述送料装置采用移动式滑台机构，滑台机构为无杆电缸。

优选的，所述炉体的外部采用不锈钢外套，所述加热腔为石英炉管，所述保温层设置为陶瓷纤维层。

优选的，所述控温热偶设置有多个，多个控温热偶呈线性排列，且相邻的两个控温热偶等间距设置。

优选的，所述风管上设置有多个支管，多个支管呈线性垂直分布，且相邻的两个支管等间距设置。

优选的，所述排气管的外侧设置有排气管补温层，所述排气管补温层设置为陶瓷填充层。

本实用新型的技术效果和优点：本实用新型通过在进料管上设置有送料装置，使得本装置可以实现自动上料，在炉体的加热腔外侧设置有环形加热器，使得本装置能够实现全方位加热，提高了本装置的工作效率；在环形加热器的外侧设置有保温层，保温层能够防止热量损失，提高了本装置的加热效果；在保温层的两侧分别设置有控温热偶和冷风机，使得本装置能够精确的对加热腔内的温度进行调控，进一步提高了本装置的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型炉体结构剖面示意图。

图中：支撑架1、控制台2、进料管3、送料装置4、炉体5、进料口6、环形加热器7、保温层8、承烧架9、进气管10、测温管11、控温热偶12、导热杆13、冷风机14、风管15、排气管16、冷却器17、排气口18、排气管补温层19、降温排风口20。

具体实施方式