[实用新型]一种红外传感芯片专用除气真空炉

权利要求书

1.一种红外传感芯片专用除气真空炉，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）内部设有工作室（2），所述机体（1）一侧设有加热壳体（3），所述机体（1）另一侧设有压力传感器（4），所述压力传感器（4）底部设有真空放气阀（5），所述真空放气阀（5）底部设有手动微调阀（6），所述手动微调阀（6）底部设有真空泵（7），所述压力传感器（4）、真空放气阀（5）、手动微调阀（6）和真空泵（7）均与机体（1）连通，所述机体（1）后侧设有水冷装置（8），所述加热壳体（3）表面设有触摸式液晶屏（9）。

2.根据权利要求1所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述机体（1）底部设有固定轮和移动调节脚，所述机体（1）内壁材料为4mm不锈钢板制成。

3.根据权利要求1所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述工作室（2）包括存放壳体（21）、加热板（22）、夹具（23）、电路保护器（24）和温度传感器（25），所述存放壳体（21）设置于机体（1）内部，所述存放壳体（21）与机体（1）之间设有隔热层，所述存放壳体（21）内部均匀设有加热板（22），所述加热板（22）内部均匀设有夹具（23），所述加热板（22）一端连接有压力传感器（4），所述压力传感器（4）与加热壳体（3）连通，所述存放壳体（21）内壁一侧设有温度传感器（25），所述存放壳体（21）设置为六层，每层均可摆放300×300×60晶片夹具。

4.根据权利要求1所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述加热壳体（3）内部设有板式加热器、无触点固态继电器、短路及过载保护、超温保护声光报警器和自动断电保护器。

5.根据权利要求1所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述真空泵（7）包括涡旋真空泵和分子泵。

6.根据权利要求1所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述水冷装置（8）包括水冷壳体（81）、制冷器（82）、水压保护器（83）、水泵（84）和循环导水管（85），所述水冷壳体（81）设置于机体（1）后侧，所述水冷壳体（81）内部设有冷却液，所述水冷壳体（81）内壁底部设有制冷器（82），所述水冷壳体（81）内壁一侧设有水压保护器（83），所述水冷壳体（81）一侧设有水泵（84），所述水泵（84）顶部连通有循环导水管（85），所述循环导水管（85）循环环绕于机体（1）内壁，所述循环导水管（85）另一端与水冷壳体（81）顶部连通。

7.根据权利要求1所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述温度传感器（25）型号设置为OS136-1，所述压力传感器（4）型号设置为PTG500。

8.根据权利要求1或3或4或6所述的一种红外传感芯片专用除气真空炉，其特征在于：所述触摸式液晶屏（9）内部设有可编程控制器，所述可编程控制器输出端设有RS232或RS485计算机通讯接口，所述可编程控制器均与板式加热器、电路保护器（24）、温度传感器（25）、压力传感器（4）、真空放气阀（5）、真空泵（7）、制冷器（82）、水泵（84）和触摸式液晶屏（9）电性连接。