[实用新型]一种红外传感芯片专用除气真空炉

说明书

本实用新型公开了一种红外传感芯片专用除气真空炉，包括机体，所述机体内部设有工作室，所述机体一侧设有加热壳体，所述机体另一侧设有压力传感器，所述压力传感器底部设有真空放气阀，所述真空放气阀底部设有手动微调阀，所述手动微调阀底部设有真空泵，所述压力传感器、真空放气阀、手动微调阀和真空泵均与机体连通，所述机体后侧设有水冷装置。本实用新型通过设有工作室，工作室采用优质不锈钢板制成，保证降温速率和温控的灵敏度，并保证工作室在低气压状态下有较好的温度均匀性，内壁进行打磨钝化处理,使表面光滑,以降低工作室的放气率，工作室与集体之间设有隔热层，增加保温性能，并使得整个试验箱的性能得以保证。

技术领域

本实用新型涉及红外传感芯片加工设备领域，特别涉及一种红外传感芯片专用除气真空炉。

背景技术

芯片一般是指集成电路的载体，也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果，通常是一个可以立即使用的独立的整体，红外传感芯片在加工的过程中需要在真空炉中进行加热，目前的真空炉在工作过程中噪音较大加热效果不好，且工作数据难以统计，因此，发明一种红外传感芯片专用除气真空炉来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种红外传感芯片专用除气真空炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种红外传感芯片专用除气真空炉，包括机体，所述机体内部设有工作室，所述机体一侧设有加热壳体，所述机体另一侧设有压力传感器，所述压力传感器底部设有真空放气阀，所述真空放气阀底部设有手动微调阀，所述手动微调阀底部设有真空泵，所述压力传感器、真空放气阀、手动微调阀和真空泵均与机体连通，所述机体后侧设有水冷装置，所述加热壳体表面设有触摸式液晶屏。

优选的，所述机体底部设有固定轮和移动调节脚，所述机体内壁材料为4mm不锈钢板制成。

优选的，所述工作室包括存放壳体、加热板、夹具、电路保护器和温度传感器，所述存放壳体设置于机体内部，所述存放壳体与机体之间设有隔热层，所述存放壳体内部均匀设有加热板，所述加热板内部均匀设有夹具，所述加热板一端连接有压力传感器，所述压力传感器与加热壳体连通，所述存放壳体内壁一侧设有温度传感器，所述存放壳体设置为六层，每层均可摆放300×300×60晶片夹具。

优选的，所述加热壳体内部设有板式加热器、无触点固态继电器、短路及过载保护、超温保护声光报警器和自动断电保护器。

优选的，所述真空泵包括涡旋真空泵和分子泵。

优选的，所述水冷装置包括水冷壳体、制冷器、水压保护器、水泵和循环导水管，所述水冷壳体设置于机体后侧，所述水冷壳体内部设有冷却液，所述水冷壳体内壁底部设有制冷器，所述水冷壳体内壁一侧设有水压保护器，所述水冷壳体一侧设有水泵，所述水泵顶部连通有循环导水管，所述循环导水管循环环绕于机体内壁，所述循环导水管另一端与水冷壳体顶部连通。

优选的，所述温度传感器型号设置为OS136-1，所述压力传感器型号设置为PTG500。

优选的，所述触摸式液晶屏内部设有可编程控制器，所述可编程控制器输出端设有RS232或RS485计算机通讯接口，所述可编程控制器均与板式加热器、电路保护器、温度传感器、压力传感器、真空放气阀、真空泵、制冷器、水泵和触摸式液晶屏电性连接。