[实用新型]掩膜板组件有效
申请号: | 201721603482.5 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN207557644U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 苏君海;龚建国;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | G03F1/38 | 分类号: | G03F1/38;G03F1/60;G03F1/68 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 叶剑 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 框边 遮挡物 掩膜板 平行 开口 本实用新型 可拆卸连接 端部连接 有机材料 组件包括 分辨率 有效区 | ||
1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括:
框架,包括第一框边、第二框边、第三框边和第四框边,所述第一框边与所述第二框边相互平行,所述第三框边的两端分别与所述第一框边和所述第二框边连接,所述第四框边的两端分别与所述第一框边的远离所述第三框边的端部和所述第二框边的远离所述第三框边的端部连接,所述第三框边与所述第四框边相互平行;以及
遮挡物,所述遮挡物的两侧分别可拆卸连接于所述第一框边和所述第二框边上,所述遮挡物上开设有多个开口,每个所述开口用于通过有机材料。
2.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第一框边、所述第二框边、所述第三框边和所述第四框边一体成型。
3.根据权利要求2所述的掩膜板组件,其特征在于,所述遮挡物包括遮挡物本体、第一锁紧件和第二锁紧件,所述第一锁紧件和所述第二锁紧件均与所述遮挡物本体转动连接,多个所述开口均开设于所述遮挡物本体上,所述第一锁紧件上设有第一螺纹,所述第二锁紧件上设有第二螺纹;
所述框架还包括第一螺柱和第二螺柱,所述第一螺柱设于所述第一框边上,所述第二螺柱设于所述第二框边上,所述第一螺柱上开设有与所述第一螺纹相适配的第一螺纹孔,使得所述遮挡物与所述第一框边可拆卸连接,所述第二螺柱上开设有与所述第二螺纹相适配的第二螺纹孔,使得所述遮挡物与所述第二框边可拆卸连接。
4.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第一螺柱与所述第一框边一体成型。
5.根据权利要求4所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第二螺柱与所述第二框边一体成型。
6.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其特征在于,所述遮挡物本体上开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔,所述第一锁紧件穿设于所述第三螺纹孔内并与所述遮挡物本体转动连接,所述第二锁紧件穿设于所述第四螺纹孔内并与所述遮挡物本体转动连接。
7.根据权利要求2所述的掩膜板组件,其特征在于,所述遮挡物包括遮挡物本体、第一卡销和第二卡销,所述第一卡销和所述第二卡销均与所述遮挡物本体滑动连接,多个所述开口均开设于所述遮挡物本体上;
所述框架还包括第一固定柱和第二固定柱,所述第一固定柱设于所述第一框边上,所述第二固定柱设于所述第二框边上,所述第一固定柱上开设有第一卡孔,所述第二固定柱上开设有第二卡孔,所述第一卡销卡入所述第一卡孔内,所述第二卡销卡入所述第二卡孔内,使得所述遮挡物与所述第二框边可拆卸连接。
8.根据权利要求7所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第一固定柱与所述第一框边一体成型。
9.根据权利要求7所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第二固定柱与所述第二框边一体成型。
10.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,多个所述开口呈矩阵方式排列。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
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