[实用新型]一种蒸发源系统有效
| 申请号： | 201721605245.2 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN207749179U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 肖冯俊树;曾兴中;童凯;蔡瀚霆;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 杨利娟 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发源 挡板 本实用新型 线性蒸发源 驱动机构 开腔 真空蒸镀工艺 产品良率 线性排列 混色 蒸镀 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，其特征在于：所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板（1）。
2.根据权利要求1所述的蒸发源系统，其特征在于：所述蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板（1）。
3.根据权利要求2所述的蒸发源系统，其特征在于：所述驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机（2）。
4.根据权利要求3所述的蒸发源系统，其特征在于：所述线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构（3），所述加热机构（3）上设有线性喷嘴组（4）。
5.根据权利要求4所述的蒸发源系统，其特征在于：所述加热机构（3）是蒸镀坩埚。
6.根据权利要求4所述的蒸发源系统，其特征在于：所述线性喷嘴组（4）包括多个喷嘴（41）。
7.根据权利要求6所述的蒸发源系统，其特征在于：所述喷嘴（41）上设有用于调节喷嘴孔径大小的遮挡片。
8.根据权利要求5所述的蒸发源系统，其特征在于：所述蒸镀坩埚底部内表面设有凸起结构（31）。
9.根据权利要求8所述的蒸发源系统，其特征在于：所述凸起结构（31）上设有导热膜层。
10.根据权利要求1~9任一项所述的蒸发源系统，其特征在于：所述挡板（1）为金属挡板。
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