[实用新型]一种蒸发源系统

说明书

本实用新型涉及OLED真空蒸镀工艺技术领域，具体公开了一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板，本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节，实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能，通过改变蒸镀角度来降低shadow的产生，解决了混色状况，提升了产品良率。

技术领域

本本实用新型涉及OLED真空蒸镀工艺技术领域，尤其涉及一种蒸发源系统。

背景技术

真空蒸镀技术是小尺寸OLED生产工艺的核心技术之一，有机材料成膜的质量是影响OLED性能的重要因素。有些膜层需要通过共蒸发工艺来实现主体材料和客体材料共同蒸镀在同一膜层，由于传统分层挡板是根据需求一次性设计做成的挡板，结构固定不变。在生产时，受温度影响产生的挡板形变，以及挡板对不同蒸镀速率具有不同遮挡效果，不同有机材料具有不同理化特性等，这些因素造成蒸镀区微量改变会叠加造成蒸镀区产生较明显变化，导致主体材料和客体材料不能最优化重叠，掺杂的均匀性没有得到很好的保证，导致薄膜掺杂均匀性差。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能、通过改变蒸镀角度来降低shadow产生以及提高产品良率的蒸发源系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种蒸发源系统，包括蒸发源，所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成，所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板。

优选的，所述蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板。

优选的，所述驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机，伺服电机连接挡板，驱动挡板上下运动以调整其高度，进而调节蒸镀角度。

优选的，所述线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构，所述加热机构上设有线性喷嘴组。

优选的，所述加热机构是蒸镀坩埚。

优选的，所述线性喷嘴组包括多个喷嘴，喷嘴的数量可以根据实际生产需求进行设置。

优选的，所述喷嘴上设有用于调节喷嘴孔径大小的遮挡片，遮挡片调节喷嘴孔径大小，使得膜厚均匀性好。

优选的，所述蒸镀坩埚底部内表面设有凸起结构，能够较大程度的增加材料与坩埚的接触面积，提高蒸镀效率。

优选的，所述凸起结构上设有导热膜层，使得加热更加均匀。

进一步优选的，所述挡板为金属挡板，使用寿命长。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节，驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机，通过控制器设置好调整参数并由伺服电机驱动挡板运动，实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能，通过改变蒸镀角度来降低shadow的产生，解决了混色状况，提升了产品良率；通过设置遮挡片调节喷嘴孔径大小使得膜厚均匀性更好；坩埚底部内表面设置凸起，增加材料与坩埚的接触面积，提高蒸镀效率。

附图说明

图1为现有技术中蒸发源系统结构示意图；

图2为实施例一调节挡板高度后的蒸发源系统结构示意图；

图3为实施例二的加热机构的结构示意图；

其中，1为挡板；2为伺服电机；3为加热机构；31为凸起结构；4为线性喷嘴组；41为喷嘴。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。