[实用新型]一种显影设备

权利要求书

1.一种显影设备，其特征在于，所述设备包括：

旋转机台(100)；

显影液喷洒清洗机构(200)，包括喷洒清洗喷头(201)和用于将喷洒清洗喷头(201)移动到所述旋转机台(100)上方的第一喷头移动件(202)；所述喷洒清洗喷头(201)包括显影液喷嘴(1)和环绕在所述显影液喷嘴(1)外周的环形清洗液喷嘴(2)，所述显影液喷嘴(1)设置有显影液入口和向下开设的显影液出口，所述环形清洗液喷嘴(2)设置有清洗液入口和清洗液出口，所述环形清洗液喷嘴(2)清洗液出口的喷淋方向朝向所述显影液喷嘴(1)的显影液出口。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述显影液喷嘴(1)包括显影液腔室(11)以及位于所述显影液腔室(11)下方且与其流体连通的显影液刀(12)，所述显影液入口设置于所述显影液腔室(11)上，所述显影液出口设置于所述显影液刀(12)上。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述显影液出口为上下延伸的条形狭缝(13)。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述显影液刀(12)的侧面从上至下逐渐向所述条形狭缝(13)倾斜。

5.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述环形清洗液喷嘴(2)包括环绕在显影液腔室(11)外周的环形清洗液腔室(21)和设置于所述环形清洗液腔室(21)底部且与其流体连通的环形清洗液刀(22)，所述清洗液入口设置于所述环形清洗液腔室(21)上，所述环形清洗液刀(22)中设置有环形狭缝(23)且底部开设有环形的所述清洗液出口。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述环形清洗液刀(22)的外壁沿轴向向所述显影液刀(12)倾斜。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括风干机构(300)，所述风干机构(300)包括干燥气体喷头(301)和用于将干燥气体喷头(301)移动到所述旋转机台(100)上方的第二喷头移动件(302)，所述干燥气体喷头(301)设置有干燥气体入口和向下开设的干燥气体出口。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述第一喷头移动件(202)和第二喷头移动件(302)各自包括升降驱动装置(A1)、设置于升降驱动装置(A1)上方且与其传动连接的旋转驱动装置(A2)、以及与旋转驱动装置(A2)传动相连的旋转杆(A3)，所述旋转杆(A3)与所述喷洒清洗喷头(201)或干燥气体喷头(301)相连。

9.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述旋转机台(100)的外侧设置有保护罩(400)，所述保护罩(400)的顶部开设有用于伸入所述喷洒清洗喷头(201)的开口。

10.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括显影液进料装置(500)和清洗液进料装置(600)，所述显影液进料装置(500)的出口与所述显影液喷嘴(1)的显影液入口连通，所述清洗液进料装置(600)的出口与所述环形清洗液喷嘴(2)的清洗液入口连通。