[实用新型]一种显影设备

说明书

本公开涉及一种显影设备，所述设备包括：旋转机台；显影液喷洒清洗机构，包括喷洒清洗喷头和用于将喷洒清洗喷头移动到所述旋转机台上方的第一喷头移动件；所述喷洒清洗喷头包括显影液喷嘴和环绕在所述显影液喷嘴外周的环形清洗液喷嘴，所述显影液喷嘴设置有显影液入口和向下开设的显影液出口，所述环形清洗液喷嘴设置有清洗液入口和清洗液出口，所述环形清洗液喷嘴清洗液出口的喷淋方向朝向所述显影液喷嘴的显影液出口。本公开的显影设备通过在显影液喷嘴的外周设置环形清洗液喷嘴，能够实现显影液喷嘴出口处和设置在旋转机台上彩色滤光片的清洗，提高喷淋稳定性和喷淋效果。

技术领域

本公开涉及显影技术领域，具体地，涉及一种显影设备。

背景技术

彩色光阻经涂布、前烘、曝光后形成具有薄膜形状的彩色滤光片，彩色滤光片再经显影后形成像素图形。但在显影过程中，一方面由于显影喷头与彩色滤光片距离较近，经过压力喷淋的显影液溶解彩膜后，会使溶解的彩胶飞溅到显影喷头上，长时间不清洗喷头则会使溶解的彩胶大量堆积；另一方面显影完成后残留在显影喷头的显影液长时间暴露在空气中会引发变质形成固体颗粒。上述两个因素都会导致显影喷头部分堵塞，使得显影液扇形弧度减小，影响显影稳定性及显影效果。

为解决上述问题，有必要提出一种新的可清洗显影液喷头的显影设备。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种简单实用的显影设备。

为了实现上述目的，本公开提供一种显影设备，所述设备包括：旋转机台；显影液喷洒清洗机构，包括喷洒清洗喷头和用于将喷洒清洗喷头移动到所述旋转机台上方的第一喷头移动件；所述喷洒清洗喷头包括显影液喷嘴和环绕在所述显影液喷嘴外周的环形清洗液喷嘴，所述显影液喷嘴设置有显影液入口和向下开设的显影液出口，所述环形清洗液喷嘴设置有清洗液入口和清洗液出口，所述环形清洗液喷嘴清洗液出口的喷淋方向朝向所述显影液喷嘴的显影液出口。

可选的，所述显影液喷嘴包括显影液腔室以及位于所述显影液腔室下方且与其流体连通的显影液刀，所述显影液入口设置于所述显影液腔室上，所述显影液出口设置于所述显影液刀上。

可选的，所述显影液出口为上下延伸的条形狭缝。

可选的，所述显影液刀的侧面从上至下逐渐向所述条形狭缝倾斜。

可选的，所述环形清洗液喷嘴包括环绕在显影液腔室外周的环形清洗液腔室和设置于所述环形清洗液腔室底部且与其流体连通的环形清洗液刀，所述清洗液入口设置于所述环形清洗液腔室上，所述环形清洗液刀中设置有环形狭缝且底部开设有环形的所述清洗液出口。

可选的，所述环形清洗液刀的外壁沿轴向向所述显影液刀倾斜。

可选的，所述设备还包括风干机构，所述风干机构包括干燥气体喷头和用于将干燥气体喷头移动到所述旋转机台上方的第二喷头移动件，所述干燥气体喷头设置有干燥气体入口和向下开设的干燥气体出口。

可选的，所述第一喷头移动件和第二喷头移动件各自包括升降驱动装置、设置于升降驱动装置上方且与其传动连接的旋转驱动装置、以及与旋转驱动装置传动相连的旋转杆，所述旋转杆与所述喷洒清洗喷头或干燥气体喷头相连。

可选的，所述旋转机台的外侧设置有保护罩，所述保护罩的顶部开设有用于伸入所述喷洒清洗喷头的开口。

可选的，所述设备还包括显影液进料装置和清洗液进料装置，所述显影液进料装置的出口与所述显影液喷嘴的显影液入口连通，所述清洗液进料装置的出口与所述环形清洗液喷嘴的清洗液入口连通。

本公开的显影设备通过在显影液喷嘴的外周设置环形清洗液喷嘴，能够实现显影液喷嘴出口处和设置在旋转机台上彩色滤光片的清洗，保证显影液喷嘴的工作正常，防止被堵塞，提高喷淋稳定性和喷淋效果。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。