[实用新型]一种新型抗腐蚀真空液体收集器

权利要求书

1.一种新型抗腐蚀真空液体收集器，包括锥形挡板，接受管，贮存腔和真空泵，其特征在于此设备安装在显影机工位正下方，锥形挡板表面设置C型流液槽并底部自带具有一定倾斜度的U型槽，利用真空泵形成的负压，使显影液快速流入贮存腔。

2.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的锥形挡板高为20cm，上底直径为2cm，下底直径为30cm，主要是由厚度为1.5mm的304不锈钢经过无缝氩弧焊接而成，可以承受100atm的压力。

3.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的连接U型槽出液口的接受管是长度1m，直径为2cm，化学性质稳定，抗腐蚀能力强的PPR软管。

4.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的贮存腔是由抗酸碱的PFA材料制成的，腔体的容积为3L，贮存腔进口处安装一张高分子多孔质膜，以去除显影液中的杂质和维持腔内外一定的压差。

5.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的真空泵是爱德华E2M40双级机械油封真空泵，运行电压为220V，频率为50Hz，抽气速度为700L/min。

6.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的C型流液槽是沿着挡板表面，由上底面连通到出液口，长度为30cm。

7.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的U型槽位于挡板的底部，深度为1cm，长度为90cm，倾斜度为-0.1rad/cm，出液口是位置最低点，有利于显影液快速通过出液口进入贮存腔。

8.据权利要求1所述的一种新型抗腐蚀真空液体收集器，其特征在于：所述的所有操作过程均在尘埃粒子含量达到百级标准的无尘车间内进行。