[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201721613935.2 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN207603919U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定极板 固定电极 绝缘层 振动极板 本实用新型 间隔设置 凸起部 主体部 通孔 抗干扰性能 相对侧壁 弹性臂 凹陷 插设 叠设 内壁 嵌设 外壁 贯通 贯穿 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括固定极板、设于所述固定极板的振动极板及连接所述固定极板与所述振动极板的弹性臂，所述固定极板包括依次叠设的第一固定电极、绝缘层、第二固定电极及贯穿所述第一固定极板、绝缘层和第二固定极板的通孔，所述振动极板嵌设于所述通孔内，其包括主体部和设于所述主体部两相对侧壁的若干个间隔设置的凸起部；所述固定极板包括自其两相对内壁分别朝其对应的外壁方向凹陷形成的若干个间隔设置的凹槽，每一所述凹槽贯通所述第一固定电极、所述绝缘层和所述第二固定电极；所述凸起部插设于所述凹槽内，并与所述凹槽一一对应。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振动极板的厚度小于所述固定极板的厚度。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一固定电极与所述第二固定电极的厚度相等。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述主体部包括首尾连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，以及与所述第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁的相对两端面连接的第一表面和第二表面，所述凸起部设于所述第一侧壁和第三侧壁，所述弹性臂一端与所述第一表面或/和第二表面连接，另一端与所述第二侧壁或/和第四侧壁对应的所述固定极板的内壁连接。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述弹性臂的数量为四个，且均匀分布于所述第一表面和所述第二表面，其中两个所述弹性臂连接所述第二侧壁对应的所述固定极板的内壁，另外两个所述弹性臂连接所述第四侧壁对应的所述固定极板的内壁。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述弹性臂呈条状。
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