[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型公开一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括固定极板、设于所述固定极板的振动极板及连接所述固定极板与所述振动极板的弹性臂，所述固定极板包括依次叠设的第一固定电极、绝缘层、第二固定电极及贯穿所述第一固定极板、绝缘层和第二固定极板的通孔，所述振动极板嵌设于所述通孔内，其包括主体部和设于所述主体部两相对侧壁的若干个间隔设置的凸起部；所述固定极板包括自其两相对内壁分别朝其对应的外壁方向凹陷形成的若干个间隔设置的凹槽，每一所述凹槽贯通所述第一固定电极、所述绝缘层和所述第二固定电极；所述凸起部插设于所述凹槽内，并与所述凹槽一一对应。本实用新型提供的MEMS麦克风，结构简单，抗干扰性能优。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换技术领域，具体涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设置，例如如手机、掌上游戏机、导航装置或掌上多媒体娱乐设备等。

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风使一种利用微机械加工技术制作出的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术中，MEMS麦克风包括振动极板和与所述振动极板相对间隔设置的固定极板，所述振动极板与所述固定极板之间形成电容，当外界声波使所述振动极板振动并产生移位时，所述振动极板与所述固定极板之间的电容发生变化并转换成与点播信号对应的电信号，于是就完成了声-电转换的功能。

随着应用MEMS麦克风的电子设备中电子元器件的数量和种类的迅猛递增，MEMS麦克风所处的电磁环境愈加复杂多变，使得麦克风芯片受到的电磁干扰越发明显，从而严重影响MEMS麦克风的性能。

因此，有必要提供一种新的结构解决上述技术问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是克服上述技术问题，提供一种结构简单、抗干扰性能强的MEMS麦克风。

本实用新型的技术方案如下：

一种MEMS麦克风，包括固定极板、设于所述固定极板的振动极板及连接所述固定极板与所述振动极板的弹性臂，所述固定极板包括依次叠设的第一固定电极、绝缘层、第二固定电极及贯穿所述第一固定极板、绝缘层和第二固定极板的通孔，所述振动极板嵌设于所述通孔内，其包括主体部和设于所述主体部两相对侧壁的若干个间隔设置的凸起部；所述固定极板包括自其两相对内壁分别朝其对应的外壁方向凹陷形成的若干个间隔设置的凹槽，每一所述凹槽贯通所述第一固定电极、所述绝缘层和所述第二固定电极；所述凸起部插设于所述凹槽内，并与所述凹槽一一对应。

优选的，所述振动极板的厚度小于所述固定极板的厚度。

优选的，所述第一固定电极与所述第二固定电极的厚度相等。

优选的，所述主体部包括首尾连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，以及与所述第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁的相对两端面连接的第一表面和第二表面，所述凸起部设于所述第一侧壁和第三侧壁，所述弹性臂一端与所述第一表面或/和第二表面连接，另一端与所述第二侧壁或/和第四侧壁对应的所述固定极板的内壁连接。

优选的，所述弹性臂的数量为四个，且均匀分布于所述第一表面和所述第二表面，其中两个所述弹性臂连接所述第二侧壁对应的所述固定极板的内壁，另外两个所述弹性臂连接所述第四侧壁对应的所述固定极板的内壁。

优选的，所述弹性臂呈条状。

与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风有益效果在于：