[实用新型]工件、化学气相沉积装置和插销

权利要求书

1.一种工件，其特征在于，包括工件本体、第一通道、升降销和第二通道，所述第一通道和所述第二通道设置在所述工件本体内，且所述第一通道和所述第二通道均与所述工件本体的外表面连通，所述第一通道与所述第二通道连通，所述工件具有第一状态和第二状态：

在第一状态下，所述升降销的一端设置于所述工件本体的外表面的内侧，所述升降销的另一端设置于所述第二通道内；

在第二状态下，所述升降销的一端设置于所述工件本体的外表面的外侧，所述升降销的另一端设置于所述第二通道内或者设置于所述第一通道与所述第二通道连通处。

2.如权利要求1所述的工件，其特征在于，还包括弹性件，所述弹性件设置在所述第一通道内，所述弹性件分别与所述工件本体和所述升降销固定连接，在第二状态下，所述弹性件具有使所述升降销的一端回复到所述工件本体的外表面的内侧的趋势。

3.如权利要求2所述的工件，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧的一端与所述工件本体固定连接，所述弹簧的另一端与所述升降销固定连接。

4.如权利要求1所述的工件，其特征在于，所述升降销的另一端为半球、楔形或者圆锥体中的一种。

5.如权利要求1所述的工件，其特征在于，所述第一通道和所述第二通道垂直设置。

6.如权利要求1所述的工件，其特征在于，所述第一通道和所述第二通道同轴设置。

7.如权利要求1所述的工件，其特征在于，所述工件的材质为陶瓷。

8.如权利要求1所述的工件，其特征在于，所述第一通道的数量为两个，所述升降销的数量为两个，两个所述升降销分别设置在两个所述第一通道内，两个所述第一通道同轴设置，两个所述第一通道与所述第二通道垂直设置；所述工件还包括两个弹性件，一个所述弹性件设置在一个所述第一通道内，另一个所述弹性件设置在另一个所述第一通道内，每个所述弹性件分别与所述工件本体和一个所述升降销固定连接，在第二状态下，每个所述弹性件具有使所述升降销的一端回复到所述工件本体的外表面的内侧的趋势。

9.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的工件。

10.一种插销，其特征在于，所述插销可插入到如权利要求1至8任一项所述的工件的第二通道中，所述插销用于使工件处于第二状态。