[实用新型]一种过真空腔室的测温结构

权利要求书

1.一种过真空腔室的测温结构，其特征在于，包括测温部件(1)、旋转部件(5)、设于真空腔室内的旋转盘(2)以及设于所述真空腔室外的驱动装置(3)，所述驱动装置(3)与所述旋转部件(5)连接，并驱动所述旋转部件(5)转动，所述旋转部件(5)延伸至所述真空腔室内与所述旋转盘(2)连接，所述测温部件(1)贯穿所述旋转部件(5)，并与所述旋转盘(2)上的待测件(6)连接。

2.根据权利要求1所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述驱动装置包括电机和传动机构(4)，所述电机驱动所述传动机构(4)带动所述旋转部件(5)转动，所述传动机构(4)包括主动带轮(7)、从动带轮(8)和皮带(9)，所述皮带(9)套设在所述主动带轮(7)和所述从动带轮(8)上，所述从动带轮(8)与所述旋转部件(5)连接。

3.根据权利要求1所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述旋转部件(5)的中心设有通道，所述测温部件(1)容置在所述通道中，所述测温部件(1)的外径小于所述通道的内径，所述测温部件(1)与所述通道之间密封连接。

4.根据权利要求1至3任一项所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述旋转部件(5)为中空圆筒结构的磁流体，所述磁流体与所述真空腔体的壁面密封连接。

5.根据权利要求4所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述旋转盘(2)与所述磁流体连接，且所述磁流体可以带动所述旋转盘(2)和所述测温部件(1)以设定的速度作同步圆周运动。

6.根据权利要求1所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述测温结构还包括温控装置，所述测温部件(1)远离所述真空腔室的一侧与所述温控装置连接，并反馈实时温度信号。

7.根据权利要求6所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述旋转部件(5)在所述真空腔室外侧的一端与基座(11)连接，所述基座(11)由绝缘材质制成，且所述基座(11)上设置有导电部件(13)，所述测温部件(1)的第一引出线与所述导电部件(13)电连接。

8.根据权利要求7所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述测温结构还包括碳刷座(14)，所述碳刷座(14)上的碳刷(15)端部与所述导电部件(13)外侧抵接，所述碳刷(15)远离所述导电部件(13)的一端设有的第二引出线，所述第二引出线穿过所述碳刷座(14)与所述温控装置连接。

9.根据权利要求8所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述碳刷座(14)上设有凹槽，所述凹槽由内向外依次布置弹簧和所述碳刷(15)，所述弹簧处于压缩状态，使所述碳刷(15)与所述导电部件(13)外侧紧密接触。

10.根据权利要求8所述的过真空腔室的测温结构，其特征在于，所述导电部件(13)内侧引出第一接线柱(12)，所述第一引出线固定于所述第一接线柱(12)上；所述碳刷座(14)上远离所述碳刷(15)的一端设有第二接线柱(16)，所述第二引出线固定于所述第二接线柱(16)上；且所述第一接线柱(12)和所述第二接线柱(16)上分别套有绝缘套。