[实用新型]多层基片归正装置

权利要求书

1.一种多层基片归正装置，其特征在于，包括：

驱动单元、长轴以及多个基片归正机构；

所述长轴竖置于工艺腔室内，所述基片归正机构穿设在所述长轴上，并在各所述基片归正机构之间按照工艺腔室内各层基片的间距设置间隙；

所述驱动单元包括驱动主体和驱动输出轴，所述驱动主体设置在工艺腔室外，所述驱动输出轴的一端与所述驱动主体连接，所述驱动输出轴的另一端与工艺腔室内的所述长轴连接；

所述基片归正机构包括：安装座、归正板以及连杆组件；

所述安装座设有第一轴承，所述安装座通过所述第一轴承穿设在所述长轴上，且所述第一轴承与所述长轴在配合处固接；

所述安装座的一端与工艺腔室的内壁固接，所述安装座远离所述内壁的一端设有与所述长轴平行的销轴，所述归正板通过所述销轴与所述安装座铰接；

所述连杆组件的两端分别与所述长轴和所述归正板连接；

所述归正板设有两个归正销，并且所述安装座设有限位部件，当所述驱动单元驱动所述长轴转动，使所述连杆组件驱动所述归正板围绕所述销轴的轴线转动至与所述限位部件相抵时，所述归正销分别抵靠在基片的两个邻边上。

2.根据权利要求1所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述驱动输出轴上套设有密封护套；

所述密封护套内置有球头接头的一端与所述驱动输出轴远离所述长轴的一端固接，所述球头接头与所述驱动主体固接，所述密封护套远离所述驱动主体的一端固接在工艺腔室外壁上。

3.根据权利要求2所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述密封护套为波纹管组件。

4.根据权利要求2所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述驱动主体为伺服电机，所述伺服电机的电机轴与所述球头接头固接。

5.根据权利要求2所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述驱动主体为气缸，所述气缸的活塞杆与所述球头接头固接。

6.根据权利要求5所述的多层基片归正装置，其特征在于，还包括转接杆，所述转接杆的一端与所述长轴固接，所述转接杆远离所述长轴的一端与所述驱动输出轴远离所述气缸的一端连接；

所述气缸通过所述转接杆驱动所述长轴转动。

7.根据权利要求1～6任一项所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述第一轴承为球面轴承。

8.根据权利要求1～6任一项所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述归正销的材质为聚氨酯。

9.根据权利要求1～6任一项所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述连杆组件包括第一连杆、第二连杆、第二轴承和第三轴承；

所述第一连杆的一端与所述长轴固接，所述第一连杆远离所述长轴的一端与所述第二连杆的一端通过所述第二轴承铰接，所述第二连杆远离所述第二轴承的一端与所述归正板的一端通过所述第三轴承铰接；

所述驱动单元驱动所述长轴转动，带动所述第一连杆、所述第二连杆和所述归正板联动，使所述第二连杆驱动所述归正板围绕所述销轴的轴线转动。

10.根据权利要求9所述的多层基片归正装置，其特征在于，所述第二轴承和所述第三轴承均为推力球轴承。