[实用新型]一种真空法兰密封装置有效
申请号: | 201721631457.8 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN207906655U | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 李炳坤;张晓军 | 申请(专利权)人: | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
主分类号: | F16L23/18 | 分类号: | F16L23/18 |
代理公司: | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人: | 余薇 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空法兰 铜垫圈 橡胶圈 超高真空 密封 兼容 本实用新型 无氧铜垫圈 橡胶圈密封 方便操作 螺钉固定 密封槽 | ||
1.一种真空法兰密封装置,包括第一真空法兰、第二真空法兰、铜垫圈、以及橡胶圈,其特征在于:
所述第一真空法兰和所述第二真空法兰通过螺钉固定在一起;以及
所述铜垫圈和所述橡胶圈嵌在所述第一真空法兰和所述第二真空法兰之间的兼容密封槽中。
2.如权利要求1所述的真空法兰密封装置,其特征在于,所述第一真空法兰是兼容性CF法兰。
3.如权利要求1所述的真空法兰密封装置,其特征在于,所述第二真空法兰是标准CF法兰。
4.如权利要求1所述的真空法兰密封装置,其特征在于,所述铜垫圈是无氧铜垫圈。
5.如权利要求1所述的真空法兰密封装置,其特征在于,所述兼容密封槽包括对应于所述铜垫圈的第一密封槽、以及对应于所述橡胶圈的第二密封槽。
6.如权利要求5所述的真空法兰密封装置,其特征在于,所述第一密封槽和所述第二密封槽是分离的。
7.如权利要求5所述的真空法兰密封装置,其特征在于,对应于所述铜垫圈的所述第一密封槽位于对应于所述橡胶圈的所述第二密封槽的上方。
8.如权利要求5所述的真空法兰密封装置,其特征在于,对应于所述铜垫圈的所述第一密封槽位于对应于所述橡胶圈的所述第二密封槽的下方。
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