[实用新型]一种真空法兰密封装置

说明书

本实用新型公开了一种真空法兰密封装置，包括第一真空法兰、第二真空法兰、铜垫圈、以及橡胶圈，其特征在于：所述第一真空法兰和所述第二真空法兰通过螺钉固定在一起；以及所述铜垫圈和所述橡胶圈嵌在所述第一真空法兰和所述第二真空法兰之间的兼容密封槽中。根据本实施新型的真空法兰密封装置能够兼容橡胶圈和铜垫圈密封。在一些不需要超高真空、不需高温的工作环境，用户为了方便操作可以选择用橡胶圈密封。而在一些需要超高真空、高温的工作环境，用户可以选择用无氧铜垫圈密封。这样用户就有选择的余地，灵活性更强。

技术领域

本实用新型涉及法兰装置领域，尤其涉及一种兼容橡胶圈和铜垫圈密封的真空法兰密封装置。

背景技术

图1是现有技术中的真空法兰密封装置100的结构示意图。如图1所示，真空法兰密封装置100可包括两种密封方案：

(一)真空法兰(例如，标准CF法兰101和102)是通过铜垫圈103(例如，无氧铜垫圈)密封(如图1的上半部分所示)。具体地，将无氧铜垫圈103放在刀口密封位置，通过螺钉将两个CF法兰101和102压紧，通过CF法兰101和102上的刀口嵌到铜垫圈103形成密封。这种密封方案的优点包括：真空度能达到超过真空；耐高温；放气量小。这种密封方案的缺点包括：安装、拆卸不方便，劳动量大；无氧铜垫圈不能重复使用，每拆卸一次都需更换新的，成本增加；不兼容橡胶圈密封。

(二)真空法兰(例如，真空法兰104和105)是通过橡胶圈106密封(如图1的下半部分所示)。具体地，将橡胶圈106放在密封槽位置，通过螺钉将真空法兰104和105压紧，通过法兰密封圈与橡胶圈106贴合形成密封。这种密封方案的优点包括：安装方便；橡胶圈可以重复使用。这种密封方案的缺点包括：真空度比CF法兰铜垫圈密封略低一些；不能耐高温；放气量大；不兼容铜垫圈密封。

因此，需要一种改进的兼容橡胶圈和铜垫圈密封的真空法兰密封装置。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种改进的兼容橡胶圈和铜垫圈密封的真空法兰密封装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种真空法兰密封装置，包括第一真空法兰、第二真空法兰、铜垫圈、以及橡胶圈，其特征在于：所述第一真空法兰和所述第二真空法兰通过螺钉固定在一起；以及所述铜垫圈和所述橡胶圈嵌在所述第一真空法兰和所述第二真空法兰之间的兼容密封槽中。

优选地，所述第一真空法兰是兼容性CF法兰。

优选地，所述第二真空法兰是标准CF法兰。

优选地，所述铜垫圈是无氧铜垫圈。

优选地，所述两个密封槽包括对应于所述铜垫圈的第一密封槽、以及对应于所述橡胶圈的第二密封槽。

优选地，所述第一密封槽和所述第二密封槽是分离的。

优选地，对应于所述铜垫圈的所述第一密封槽位于对应于所述橡胶圈的所述第二密封槽的上方。

优选地，对应于所述铜垫圈的所述第一密封槽位于对应于所述橡胶圈的所述第二密封槽的下方。

有利地，根据本实施新型的真空法兰密封装置能够兼容橡胶圈和铜垫圈密封。在一些不需要超高真空、不需高温的工作环境，用户为了方便操作可以选择用橡胶圈密封。而在一些需要超高真空、高温的工作环境，用户可以选择用无氧铜垫圈密封。这样用户就有选择的余地，灵活性更强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。