[实用新型]曝光机有效
申请号: | 201721631748.7 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN207516723U | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 章勇;黄顺宏;闫明超;罗卫;朱广飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市柔宇科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏振膜层 承载台 起偏器 玻璃层 玻璃基板 曝光机 光发生器 偏振方向垂直 承载 穿过 可用 偏振 照射玻璃基板 本实用新型 发射光线 光发射器 光线照射 反射 | ||
1.一种曝光机,用于照射玻璃基板,所述玻璃基板包括玻璃层和偏振膜层,其特征在于,所述曝光机包括:
承载台,所述承载台用于承载所述玻璃基板;
光发生器,所述光发生器用于向所述承载台发射光线;和
起偏器,所述起偏器设置在所述光发生器与所述承载台之间,当所述玻璃基板承载在所述承载台上且所述偏振膜层位于所述玻璃层与所述承载台之间时,光线依次穿过所述起偏器和所述玻璃层后到达所述偏振膜层,所述起偏器的偏振方向与所述偏振膜层的偏振方向垂直。
2.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机还包括起偏驱动器、起偏角度传感器和处理器,所述起偏驱动器用于驱动所述起偏器转动,所述起偏角度传感器用于检测所述起偏器的转动角度;所述处理器与所述起偏角度传感器和所述起偏驱动器均连接,所述处理器用于依据所述起偏器的转动角度,判断所述起偏器的偏振方向与所述偏振膜层的偏振方向是否垂直,且在所述起偏器的偏振方向与所述偏振膜层的偏振方向不垂直时,控制所述起偏驱动器驱动所述起偏器转动。
3.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机还包括基板驱动器、基板角度传感器和处理器,所述基板驱动器用于驱动所述玻璃基板转动,所述基板角度传感器用于检测所述玻璃基板的转动角度;所述处理器与所述基板角度传感器及所述基板驱动器均连接,所述处理器用于依据所述玻璃基板的转动角度,判断所述起偏器的偏振方向与所述偏振膜层的偏振方向是否垂直,且在所述起偏器的偏振方向与所述偏振膜层的偏振方向不垂直时,控制所述基板驱动器驱动所述玻璃基板转动。
4.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述承载台包括承载平面,所述玻璃基板承载在所述承载平面上,所述承载平面上形成有凹槽,所述曝光机还包括光照度传感器,所述光照度传感器设置在所述凹槽内,所述光照度传感器用于检测进入所述凹槽内的光线的光照强度。
5.根据权利要求4所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机还包括:
驱动部,所述驱动部用于驱动所述起偏器和/或所述玻璃基板转动;和
处理器,所述处理器与所述光照度传感器和所述驱动部均连接,所述处理器用于在所述光照强度大于或等于预设的光照强度阈值时,控制所述驱动部驱动所述起偏器和/或所述玻璃基板转动。
6.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述承载台包括承载平面,所述玻璃基板承载在所述承载平面上,所述曝光机还包括平行检测装置,所述平行检测装置用于检测所述起偏器与所述承载平面是否平行。
7.根据权利要求6所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机还包括载台调整器,所述载台调整器用于在所述起偏器与所述承载平面不平行时,调整所述承载平面以使所述承载平面与所述起偏器平行。
8.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述曝光机还包括载台驱动器,所述载台驱动器用于驱动所述承载台转动,并带动所述玻璃基板转动以改变所述偏振膜层的偏振方向。
9.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述承载台包括承载平面,所述玻璃基板承载在所述承载平面上,所述承载平面上形成有凹槽,所述承载台还包括设置在所述凹槽内的承接杆,所述承接杆能够伸缩以伸入或伸出所述凹槽。
10.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述起偏器的边缘形成有外齿轮。
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