[实用新型]一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备有效
申请号: | 201721645790.4 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN207425793U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 毕凯 | 申请(专利权)人: | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34;H01J37/32 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 姚海波 |
地址: | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 下连接轴 上连接轴 灯丝 工件清洗设备 真空镀膜设备 氩气 灯丝结构 电性连接 上轴承 下轴承 本实用新型 安全事故 电位连接 壳体开孔 完全封闭 连接头 开孔 线缆 离子 泄露 穿过 | ||
1.一种灯丝结构,其特征在于:所述灯丝结构包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头,所述上连接轴穿过上轴承,所述下连接轴与下轴承连接,所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间,所述第一连接头与下连接轴电性连接,所述下连接轴与灯丝电性连接。
2.如权利要求1所述的灯丝结构,其特征在于:所述灯丝结构还包括转动环、遮挡板、驱动装置、第一齿轮及第二齿轮,所述转动环转动套设于下连接轴上,所述遮挡板呈弧形围绕灯丝设置,所述遮挡板的下端与转动环连接,所述转动环与第二齿轮平行且同轴固定设置,所述第二齿轮与第一齿轮啮合,所述第一齿轮固定于驱动装置的输出轴上。
3.如权利要求2所述的灯丝结构,其特征在于:所述灯丝结构还包括第二连接头,所述第二连接头通过固定轴与遮挡板电性连接。
4.如权利要求2所述的灯丝结构,其特征在于:所述驱动装置设置于固定板上,所述下轴承与固定板固定连接。
5.一种工件清洗设备,其特征在于:具有如权利要求1-4任一项所述的灯丝结构,所述工件清洗设备还包括壳体及基板,所述灯丝、基板均位于壳体内,所述上轴承穿过壳体的顶部,所述下连接轴穿过壳体的底部,所述基板设置于壳体的顶部与壳体的底部之间。
6.如权利要求5所述的工件清洗设备,其特征在于:所述灯丝的上端通过上连接件与上连接轴连接,下端通过下连接件与下连接轴连接。
7.如权利要求6所述的工件清洗设备,其特征在于:所述上连接件的上端与上连接轴连接,下端与灯丝的上端连接,下连接件的下端与下连接轴连接,上端与灯丝的下端连接,灯丝的上端与第一螺钉固定连接,并部分地缠绕在第二螺钉上,第一螺钉及第二螺钉均与上连接件螺纹连接。
8.如权利要求6所述的工件清洗设备,其特征在于:所述上连接件的上端与上连接轴连接,下端与灯丝的上端连接,下连接件的下端与下连接轴连接,上端与灯丝的下端连接,灯丝的下端与第一螺钉固定连接,并部分地缠绕在第二螺钉上,第一螺钉及第二螺钉均与下连接件螺纹连接。
9.一种真空镀膜设备,其特征在于:具有如权利要求1-4任一项所述的灯丝结构,所述真空镀膜设备还包括壳体及基板,所述灯丝、基板均位于壳体内,所述上轴承穿过壳体的顶部,所述下连接轴穿过壳体的底部,所述基板设置于壳体的顶部与壳体的底部之间。
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