[实用新型]一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备

说明书

一种灯丝结构，包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。如此取消了线缆的电位连接方式及壳体开孔，因此无需开孔、完全封闭，氩气、离子和电子不会泄露，避免了氩气浪费、环境污染及安全事故。本实用新型还提供了一种工件清洗设备及一种真空镀膜设备。

技术领域

本实用新型涉及材料制作领域，特别是一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备。

背景技术

溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片或工件上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。

工件有时需要用高速电子进行清洗，工件清洗设备的灯丝、基板及壳体需设置为不同的电位，以形成一定的电压差，从而引导电子的移动方向。现有的电位的维持方式为：在设备的壳体上开设一个通孔，线缆从该通孔伸入到壳体内，并分别与灯丝、基板及壳体连接，以维持电压差。由于壳体内填充有氩气等气体，在壳体上开孔可能导致氩气泄露，电子有可能从该通孔中溢出，造成氩气浪费、环境污染及安全事故。

另有一种真空镀膜设备，其灯丝、基板及壳体需设置为不同的电位，以形成一定的电压差，从而引导电子的移动方向。现有的电位的维持方式为：在设备的壳体上开设一个通孔，线缆从该通孔伸入到壳体内，并分别与灯丝、基板及壳体连接，以维持电压差。由于壳体内填充有氩气等气体，在壳体上开孔可能导致氩气泄露，电子有可能从该通孔中溢出，造成氩气浪费、环境污染及安全事故。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种无需开孔、完全封闭，氩气和电子不会泄露的灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备，以解决上述问题。

一种灯丝结构，包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。

进一步地，所述灯丝结构还包括转动环、遮挡板、驱动装置、第一齿轮及第二齿轮，所述转动环转动套设于下连接轴上，所述遮挡板呈弧形围绕灯丝设置，所述遮挡板的下端与转动环连接，所述转动环与第二齿轮平行且同轴固定设置，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述第一齿轮固定于驱动装置的输出轴上。

进一步地，所述灯丝结构还包括第二连接头，所述第二连接头通过固定轴与遮挡板电性连接。

进一步地，所述驱动装置设置于固定板上，所述下轴承与固定板固定连接。

本实用新型还提供一种工件清洗设备，具有上述的灯丝结构，所述工件清洗设备还包括壳体及基板，所述灯丝、基板均位于壳体内，所述上轴承穿过壳体的顶部，所述下连接轴穿过壳体的底部，所述基板设置于壳体的顶部与壳体的底部之间。

进一步地，所述灯丝的上端通过上连接件与上连接轴连接，下端通过下连接件与下连接轴连接。

进一步地，所述上连接件的上端与上连接轴连接，下端与灯丝的上端连接，下连接件的下端与下连接轴连接，上端与灯丝的下端连接，灯丝的上端与第一螺钉固定连接，并部分地缠绕在第二螺钉上，第一螺钉及第二螺钉均与上连接件螺纹连接。

进一步地，所述上连接件的上端与上连接轴连接，下端与灯丝的上端连接，下连接件的下端与下连接轴连接，上端与灯丝的下端连接，灯丝的下端与第一螺钉固定连接，并部分地缠绕在第二螺钉上，第一螺钉及第二螺钉均与下连接件螺纹连接。