[实用新型]一种基于微机电探针的悬臂梁式探针卡有效
| 申请号： | 201721647248.2 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN207528783U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘明星 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机电探针 防尘罩 补强板 封装基板单元 封装基板 探针卡 本实用新型 悬臂梁式 大规模并行 测试效率 卡槽设置 阵列设置 可测试 多块 芯片 测试 节约 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于微机电探针的悬臂梁式探针卡，其特征在于，包括补强板(1)、PCB印刷电路板(2)、封装基板(3)、多个微机电探针(4)和防尘罩(5)，所述PCB印刷电路板(2)设置在补强板(1)上，所述封装基板(3)由多块封装基板单元(31)组合形成，每两列微机电探针(4)阵列设置在一个封装基板单元(31)上，所述补强板(1)上设有配合防尘罩(5)安装的卡槽(6)，防尘罩(5)通过卡槽(6)设置在补强板(1)上。
2.根据权利要求1所述的基于微机电探针的悬臂梁式探针卡，其特征在于，所述PCB印刷电路板(2)通过螺丝紧固在补强板(1)上。
3.根据权利要求1所述的基于微机电探针的悬臂梁式探针卡，其特征在于，所述补强板(1)、PCB印刷电路板(2)、封装基板(3)和防尘罩(5)均为圆形。
4.根据权利要求3所述的基于微机电探针的悬臂梁式探针卡，其特征在于，直径由大到小依次为补强板(1)、防尘罩(5)、PCB印刷电路板(2)和封装基板(3)。
5.根据权利要求1所述的基于微机电探针的悬臂梁式探针卡，其特征在于，所述卡槽(6)有两个，分别设置在补强板(1)的两侧。
6.根据权利要求1所述的基于微机电探针的悬臂梁式探针卡，其特征在于，所述封装基板单元(31)有五个，组合形成封装基板(3)。
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