[实用新型]一种晶圆管芯通态压降的测量电路有效
| 申请号： | 201721650655.9 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN207488356U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 宋利鹏;郝瑞庭;刘惠鹏 | 申请（专利权）人： | 北京华峰测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 100070 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管芯 电流源模块 电压表模块 探针台 测量电路 通态压降 晶圆 吸盘 本实用新型 吸盘连接 第一端 圆管 种晶 公共电极 电流源 电压表 测量 | ||
1.一种晶圆管芯通态压降的测量电路，其特征在于，待测晶圆包括多颗管芯；
所述测量电路包括至少两个电流源模块、至少两个电压表模块和探针台吸盘；
每个所述电流源模块与一颗所述管芯对应；每个所述电压表模块与一颗所述管芯对应；
所述管芯包括第一端和第二端；其中，所述多颗管芯的第一端相连，并通过所述待测晶圆的背面的公共电极与所述探针台吸盘相连；
每个所述电流源模块的第一端与其对应的管芯的第二端连接，所述电流源模块的第二端与所述探针台吸盘连接；
每个所述电压表模块的第一端与其对应的管芯的第二端连接，所述电压表模块的第二端与所述探针台吸盘连接；
每个所述电流源模块包括一电流源；
每个所述电压表模块包括一电压表。
2.根据权利要求1所述的测量电路，其特征在于，每个所述电流源模块还包括与所述电流源串联的一开关单元；每一个所述电压表模块还包括与所述电压表串联的一开关单元。
3.根据权利要求1所述的测量电路，其特征在于，所述管芯均为二极管或MOSFET管。
4.根据权利要求1所述的测量电路，其特征在于，每个所述电压表模块的第一端与其对应的管芯的第二端的连接为开尔文连接；所述电压表模块的第二端与所述探针台吸盘的连接为开尔文连接。
5.根据权利要求1所述的测量电路，其特征在于，所述探针台吸盘表面镀金或镀镍。
6.根据权利要求1所述的测量电路，其特征在于，还包括真空吸嘴，用于将所述待测晶圆吸附在所述探针台吸盘上。
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