[实用新型]大面积靶材矫平后翘曲度测量装置有效
| 申请号： | 201721650658.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207717009U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张学文;胡清熊;祝永华;黄岩 | 申请（专利权）人： | 常州苏晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20 |
| 代理公司： | 常州知融专利代理事务所(普通合伙) 32302 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积靶材 测量装置 平尺 等高块 翘曲度 矫平 支架 本实用新型 大理石平台 靶材表面 靶材中间 对称侧边 区域测量 游标卡尺 边缘处 不接触 任意点 上移动 靶材 划伤 上套 摩擦 测量 | ||
【权利要求书】：
1.一种大面积靶材矫平后翘曲度测量装置，具有支架(5)和安装在所述支架(5)上的平台(4)，其特征在于：所述的平台(4)的对称侧边边缘处设有等高块(3)，等高块(3)上设有平尺(1)，平尺(1)上套设有在其上移动的游标卡尺(2)，所述平台(4)的台面上设有靶材(6)。
2.根据权利要求1所述的大面积靶材矫平后翘曲度测量装置，其特征在于：所述的平台(4)采用大理石材料制成的。
3.根据权利要求1所述的大面积靶材矫平后翘曲度测量装置，其特征在于：所述的靶材(6)与平台(4)之间设有背板(7)。
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