[实用新型]大面积靶材矫平后翘曲度测量装置

说明书

本实用新型涉及测量装置技术领域，尤其是一种大面积靶材矫平后翘曲度测量装置，具有支架和安装在所述支架上的平台，平台的对称侧边边缘处设有等高块，等高块上设有平尺，平尺上套设有在其上移动的游标卡尺，所述平台的台面上设有靶材，装置简单，使用方便，易实现，以大理石平台为基准，对大面积靶材的任意点进行测量，避免了以往靶材中间区域测量不到的情况；同时由于平尺与靶材表面不接触，避免摩擦造成的划伤。

技术领域

本实用新型涉及测量装置技术领域，尤其是一种大面积靶材矫平后翘曲度测量装置。

背景技术

在大面积平面靶材钎焊工艺过程中，矫平后的靶材翘曲度参数直接决定了靶材在磁控溅射机台上能否安装，水冷孔端面密封性能和薄膜均匀性，是最关键的靶材参数之一。因矫平后的靶材翘曲度参数问题，导致退货的情况，屡有发生。造成较大的经济损失，并影响了客户的信任度。矫平后的靶材翘曲度参数受靶材尺寸，环境温度，靶材残留应力等多层因素的影响，故生产工艺过程中的内控线比规格线收窄了很多，对靶材矫平的生产过程和测量过程，提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种对大面积靶材的任意点进行测量，同时由于直尺与靶材表面不接触，避免摩擦造成的划伤的大面积靶材矫平后翘曲度测量装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种大面积靶材矫平后翘曲度测量装置，具有支架和安装在所述支架上的平台，平台的对称侧边边缘处设有等高块，等高块上设有平尺，平尺上套设有在其上移动的游标卡尺，所述平台的台面上设有靶材。

进一步的，所述的平台采用大理石材料制成的。

进一步的，所述的靶材与平台之间设有背板。

本实用新型的有益效果是：本实用新型装置简单，使用方便，易实现，以大理石平台为基准，对大面积靶材的任意点进行测量，避免了以往靶材中间区域测量不到的情况；同时由于平尺与靶材表面不接触，避免摩擦造成的划伤。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型的俯视图。

图中1.平尺，2.游标卡尺，3.等高块，4.平台，5.支架，6.靶材，7.背板。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1～2所示的一种大面积靶材矫平后翘曲度测量装置，具有支架5和安装在所述支架5上的平台4，平台4的对称侧边边缘处设有等高块3，等高块3上设有平尺1，平尺1上套设有在其上移动的游标卡尺2，所述平台1的台面上设有靶材6。

平台4采用大理石材料制成的。

靶材6与平台4之间设有背板7。

具体的将靶材6和背板7放置在平台4上，平台4上的等高块3保证平尺1的等高性，游标卡尺2在平尺1上滑移，根据游标卡尺2上显示的度数去判断靶材钎焊后的翘曲度，对大面积靶材的任意点进行测量，避免了以往靶材中间区域测量不到的情况；同时由于平尺与靶材表面不接触，避免摩擦造成的划伤。

上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。