[实用新型]一种用于石英舟装卸片机的石英舟有效
| 申请号： | 201721674355.4 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN207719164U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 徐雷达 | 申请（专利权）人： | 无锡创生源自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英舟 右固定杆 左固定杆 本实用新型 支撑条 活动连接 间隔分布 右支撑杆 支撑底座 左支撑杆 片机 装卸 侧支撑条 工作效率 装卸机 平行 侧面 | ||
1.一种用于石英舟装卸片机的石英舟，其特征在于：包括位于底部的支撑底座(1)，位于支撑底座(1)上部且对应设置的若干个左固定杆(2)与右固定杆(3)，与左固定杆(2)活动连接的两个左支撑杆(4)，与右固定杆(3)活动连接的两个右支撑杆(5)，与对应的左支撑杆(4)和右支撑杆(5)连接的若干个侧支撑条(6)；所述左固定杆(2)与右固定杆(3)之间设有若干个平行的支撑条(7)，左固定杆(2)与右固定杆(3)朝向所述支撑条(7)的侧面开设有多个间隔分布的第一凹槽(8)，所述若干个支撑条(7)开设有多个间隔分布的第二凹槽(9)，所述第一凹槽(8)与第二凹槽(9)共同界定出用于容置多块硅片的多个容置空间；所述左固定杆(2)、右固定杆(3)、支撑条(7)的长度大于两个左支撑杆(4)或两个右支撑杆(5)间的距离。
2.根据权利要求1所述的用于石英舟装卸片机的石英舟，其特征在于：所述左支撑杆(4)与右支撑杆(5)开设有第一通孔(10)，所述左固定杆(2)与右固定杆(3)的两端设有限位块(11)；左固定杆(2)、右固定杆(3)插接于第一通孔(10)中并与限位块(11)配合以控制放置硅片的数量。
3.根据权利要求1所述的用于石英舟装卸片机的石英舟，其特征在于：所述第一凹槽(8)与第二凹槽(9)的数量均为40-60个。
4.根据权利要求1所述的用于石英舟装卸片机的石英舟，其特征在于：所述第一凹槽(8)与第二凹槽(9)的宽度均为0.5-2.5mm。
5.根据权利要求1所述的用于石英舟装卸片机的石英舟，其特征在于：所述支撑底座(1)开设有用于与舟叉配合的第二通孔(12)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
